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%0 Conference Proceedings
%4 sid.inpe.br/mtc-m16d/2019/09.19.13.17
%2 sid.inpe.br/mtc-m16d/2019/09.19.13.17.39
%T Desenvolvimento de espelho de BRAGG utilizando silício poroso
%D 2019
%A Silva, Ana Carolina Fernandes da,
%A Berni, Luiz Angelo,
%@affiliation Universidade Federal de São Paulo (UNIFESP)
%@affiliation Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE)
%@electronicmailaddress fanasilva2@gmail.com
%@electronicmailaddress luiz.berni@inpe.br
%E Santos, Rafael Duarte Coelho Dos,
%E Mattos, Ariane Frassoni Dos Santos De,
%E Mello, Carina Barros,
%E Queiroz, Gilberto Ribeiro De,
%E Vasconcelos, Leandro Guarino De,
%E Vieira, Luis Eduardo Antunes,
%E Forti, Maria Cristina,
%E Gatto, Rubens Cruz,
%B Seminário de Iniciação Científica e Iniciação em Desenvolvimento Tecnológico e Inovação (SICINPE)
%C São José dos Campos
%8 12-13 ago. 2019
%S Anais
%I Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE)
%J São José dos Campos
%1 Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE)
%K silicio poroso.
%X Este trabalho, tem como objetivo o estudo das propriedades ópticas e estruturais do silício poroso, levando em consideração diversas condições de ataque eletroquímico. Também possui como foco a produção de espelhos de Bragg para diferentes comprimentos de onda, para analisar a sua degradação e a verificação da viabilidade de se utilizar esses espelhos de Bragg em sensores ambientais. Foram fabricadas várias amostras de silício poroso, variando a densidade de corrente de 10 a 200 mA/cm² e o tempo de ataque de 20 a 900 segundos. Utilizando a técnica de espectroscopia por infiltração de líquidos SLIM (Spectroscopy Liquid Infiltration method), verificou-se que o índice de refração variou entre 1,3 a 2,4 com uma relação inversamente proporcional à densidade de corrente. A espessura apresentou um comportamento quase linear com a densidade de corrente e a porosidade chegou aproximadamente a 80%. Essas amostras também foram caracterizadas no microscópio eletrônico de varredura (FEG), que confirmou as medidas de espessura realizadas no SLIM além de fornecer informações sobre as estruturas do silício poroso e dimensões dos poros. Para esse estudo foram sintetizadas 5 amostras de silício poroso a partir de laminas de silício cristalino do tipo p (100) de baixa resistividade (0,01 a 0,02 Ω.cm) em solução de ácido fluorídrico (HF). Três amostras foram armazenadas em meios diferentes (álcool etílico, ar e vácuo) e semanalmente medidas no SLIM para acompanhar a degradação. A amostra de número quatro foi destinada à caracterização via microscopia eletrônica (FEG), que apresentou diâmetro médio dos poros de 25,4 nm e pode-se confirmar a presença das várias camadas. A última amostra foi designada para testes em 10 líquidos diferentes infiltrados no espelho de Bragg para verificar o comportamento da refletância em diferentes meio.
%9 ETE
%@language pt
%3 2019 Ana Carolina Fernandes da Silva.pdf
%O Bolsa PIBIC/INPE/CNPq


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