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Reference TypeReport
Identifier8JMKD3MGP3W34R/42UPH4S
Repositorysid.inpe.br/mtc-m21c/2020/08.01.21.40
Metadatasid.inpe.br/mtc-m21c/2020/08.01.21.40.37
Sitemtc-m21c.sid.inpe.br
Holder Codeisadg {BR SPINPE} ibi 8JMKD3MGPCW/3DT298S
Citation KeySáBarr:2006:CaToPl
Author1 Sá, Ubirajara Oliveira de
2 Barreto, Patrícia Regina Pereira
Group1
2 LAP-CTE-INPE-MCT-BR
Affiliation1 ETEP Faculdades
2 Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE)
Author e-Mail Address1 ubirajaradesa@yahoo.com.br
2 patricia@plasma.inpe.br
TitleCaracterização de tochas de plasma utilizada para crescimento de filmes superduros
Year2006
InstitutionInstituto Nacional de Pesquisas Espaciais
CitySão José dos Campos
Keywordsplasma, filmes.
AbstractEste trabalho iniciado em agosto de 2004 tem como objetivo o projeto de um novo canhão para a tocha de plasma utilizada na sintetização de filmes super duros. Para isto é necessário encontrar a região ótima de operação do sistema, através da caracterização do plasma, via sondas eletrostáticas, curvas de breakdown e características de descarga, para diferentes configurações de eletrodos. Numa primeira fase do trabalho, foi remontado o sistema de vácuo que estava desativado, com a inclusão de uma bomba roots e medidores de pressão deste a faixa de 2atm até 10-3mbar. O sistema de vácuo foi caracterizado através das curvas de pressão em função do tempo e apresentadas no relatório anterior. Na segunda fase do trabalho, o sistema elétrico da tocha de plasma foi modificado, com a alteração do filtro RLC. Com o sistema de vácuo funcionando e o novo circuito elétrico instalado, iniciou-se os disparos da tocha de plasma, considerando três configurações diferentes de catodos para um mesmo anodo. A aquisição de dados foi feita conectando o experimento a um osciloscópio Textronics TDS3014B e este ao microcomputador onde as informações ficam armazenadas para posteriormente serem analisadas. Foram coletados três canais no osciloscópio, um representa a queda de tensão entre os eletrodos, e os outros dois representam a queda de tensão em resistências padrão, que serem utilizados na determinação da corrente da descarga. Esses dados são importados diretamente em programas gráficos para a construção das curvas características. Utilizando um programa em Fortran, escrito para esta finalidade, foi determinado a média e o desvio padrão dos dados coletados para cada uma das configurações dos eletrodos. Também, foram determinadas as curvas de Breakdonw (ruptura da descarga) para os diferentes catodos e verificou-se que tensão mínima necessária para iniciar a descarga com o catodo de 1/4 de tungstênio é de 617,5 ± 18,6V, enquanto que para o catodo de 1/8 de tungstênio esta tensão cai para 345,4 ± 17,2 V, e a curva característica da descarga (V × I - tensão versus corrente) nestes dois casos é na faixa de 50V × 20 70A. A tensão de ruptura para o catodo de 10mm de molibdênio é de 328,5 ± 81,1V e mesma condição de V × I. A partir destas curvas será possível escolher algumas condições para a determinação dos parâmetros de plasma. Numa terceira etapa do trabalho, iniciaram-se os estudos de equilíbrio termodinâmico da descarga, considerando a descarga de N2 e NF3, de interesse no crescimento de filmes superduros. Neste estudo foi considerada a reação αN2 + βNF3 = Produtos, e as frações molares dos produtos foram determinadas utilizando o programa STANAJN para diferentes valores de α e β e condições de pressão e temperaturas típicas do experimento. Depois utilizando-se de um código cinético, ChemKin, foi determinada a composição da fase gasosa e comparada com os dados de equilíbrio.
Number of Pages24
NotesBolsa PIBIC/INPE/CNPq
Languagept
TypeRPQ
DisseminationBNDEPOSITOLEGAL
AreaFISPLASMA
Size967 KiB
Number of Files1
Target FileUbirajara Oliveia de S.pdf
Last Update2020:08.01.21.40.37 urlib.net/www/2017/11.22.19.04 simone
Metadata Last Update2020:08.01.21.40.37 urlib.net/www/2017/11.22.19.04 simone {D 2006}
Document Stagecompleted
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Access Date2020, Aug. 04

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