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@TechReport{SáBarr:2006:CaToPl,
               author = "S{\'a}, Ubirajara Oliveira de and Barreto, Patr{\'{\i}}cia 
                         Regina Pereira",
                title = "Caracteriza{\c{c}}{\~a}o de tochas de plasma utilizada para 
                         crescimento de filmes superduros",
          institution = "Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais",
                 year = "2006",
                 type = "RPQ",
              address = "S{\~a}o Jos{\'e} dos Campos",
                 note = "{Bolsa PIBIC/INPE/CNPq}",
             keywords = "plasma, filmes.",
             abstract = "Este trabalho iniciado em agosto de 2004 tem como objetivo o 
                         projeto de um novo canh{\~a}o para a tocha de plasma utilizada na 
                         sintetiza{\c{c}}{\~a}o de filmes super duros. Para isto {\'e} 
                         necess{\'a}rio encontrar a regi{\~a}o {\'o}tima de 
                         opera{\c{c}}{\~a}o do sistema, atrav{\'e}s da 
                         caracteriza{\c{c}}{\~a}o do plasma, via sondas 
                         eletrost{\'a}ticas, curvas de breakdown e 
                         caracter{\'{\i}}sticas de descarga, para diferentes 
                         configura{\c{c}}{\~o}es de eletrodos. Numa primeira fase do 
                         trabalho, foi remontado o sistema de v{\'a}cuo que estava 
                         desativado, com a inclus{\~a}o de uma bomba roots e medidores de 
                         press{\~a}o deste a faixa de 2atm at{\'e} 10-3mbar. O sistema de 
                         v{\'a}cuo foi caracterizado atrav{\'e}s das curvas de 
                         press{\~a}o em fun{\c{c}}{\~a}o do tempo e apresentadas no 
                         relat{\'o}rio anterior. Na segunda fase do trabalho, o sistema 
                         el{\'e}trico da tocha de plasma foi modificado, com a 
                         altera{\c{c}}{\~a}o do filtro RLC. Com o sistema de v{\'a}cuo 
                         funcionando e o novo circuito el{\'e}trico instalado, iniciou-se 
                         os disparos da tocha de plasma, considerando tr{\^e}s 
                         configura{\c{c}}{\~o}es diferentes de catodos para um mesmo 
                         anodo. A aquisi{\c{c}}{\~a}o de dados foi feita conectando o 
                         experimento a um oscilosc{\'o}pio Textronics TDS3014B e este ao 
                         microcomputador onde as informa{\c{c}}{\~o}es ficam armazenadas 
                         para posteriormente serem analisadas. Foram coletados tr{\^e}s 
                         canais no oscilosc{\'o}pio, um representa a queda de tens{\~a}o 
                         entre os eletrodos, e os outros dois representam a queda de 
                         tens{\~a}o em resist{\^e}ncias padr{\~a}o, que serem utilizados 
                         na determina{\c{c}}{\~a}o da corrente da descarga. Esses dados 
                         s{\~a}o importados diretamente em programas gr{\'a}ficos para a 
                         constru{\c{c}}{\~a}o das curvas caracter{\'{\i}}sticas. 
                         Utilizando um programa em Fortran, escrito para esta finalidade, 
                         foi determinado a m{\'e}dia e o desvio padr{\~a}o dos dados 
                         coletados para cada uma das configura{\c{c}}{\~o}es dos 
                         eletrodos. Tamb{\'e}m, foram determinadas as curvas de Breakdonw 
                         (ruptura da descarga) para os diferentes catodos e verificou-se 
                         que tens{\~a}o m{\'{\i}}nima necess{\'a}ria para iniciar a 
                         descarga com o catodo de 1/4 de tungst{\^e}nio {\'e} de 617,5 ± 
                         18,6V, enquanto que para o catodo de 1/8 de tungst{\^e}nio esta 
                         tens{\~a}o cai para 345,4 ± 17,2 V, e a curva 
                         caracter{\'{\i}}stica da descarga (V × I - tens{\~a}o versus 
                         corrente) nestes dois casos {\'e} na faixa de 50V × 20 70A. A 
                         tens{\~a}o de ruptura para o catodo de 10mm de molibd{\^e}nio 
                         {\'e} de 328,5 ± 81,1V e mesma condi{\c{c}}{\~a}o de V × I. A 
                         partir destas curvas ser{\'a} poss{\'{\i}}vel escolher algumas 
                         condi{\c{c}}{\~o}es para a determina{\c{c}}{\~a}o dos 
                         par{\^a}metros de plasma. Numa terceira etapa do trabalho, 
                         iniciaram-se os estudos de equil{\'{\i}}brio termodin{\^a}mico 
                         da descarga, considerando a descarga de N2 e NF3, de interesse no 
                         crescimento de filmes superduros. Neste estudo foi considerada a 
                         rea{\c{c}}{\~a}o \αN2 + \βNF3 = Produtos, e as 
                         fra{\c{c}}{\~o}es molares dos produtos foram determinadas 
                         utilizando o programa STANAJN para diferentes valores de \α 
                         e \β e condi{\c{c}}{\~o}es de press{\~a}o e temperaturas 
                         t{\'{\i}}picas do experimento. Depois utilizando-se de um 
                         c{\'o}digo cin{\'e}tico, ChemKin, foi determinada a 
                         composi{\c{c}}{\~a}o da fase gasosa e comparada com os dados de 
                         equil{\'{\i}}brio.",
          affiliation = "{ETEP Faculdades} and {Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais 
                         (INPE)}",
             language = "pt",
                pages = "24",
                  ibi = "8JMKD3MGP3W34R/42UPH4S",
                  url = "http://urlib.net/rep/8JMKD3MGP3W34R/42UPH4S",
           targetfile = "Ubirajara Oliveia de S.pdf",
        urlaccessdate = "2020, Aug. 04"
}


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