Fechar
Metadados

@PhDThesis{Siqueira:2010:MoTrRe,
               author = "Siqueira, Viviane Ribeiro de",
                title = "Modelagem tridimensional de reator de filamento quente para 
                         crescimento de diamante",
               school = "Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE)",
                 year = "2010",
              address = "S{\~a}o Jos{\'e} dos Campos",
                month = "2009-12-14",
             keywords = "diamante, deposi{\c{c}}{\~a}o qu{\'{\i}}mica a vapor, 
                         filamento quente, modelagem computacional, modelagem 
                         tridimensional, diamond, chemical vapor deposition, hot filament, 
                         numerical simulation, three dimensional model.",
             abstract = "O filamento quente {\'e} parte primordial no processo de 
                         crescimento de filmes de diamante utilizando reatores de 
                         deposi{\c{c}}{\~a}o qu{\'{\i}}mica a vapor assistidos por 
                         filamento quente. Desta maneira, realizou-se o estudo da 
                         efici{\^e}ncia energ{\'e}tica de filamentos de diferentes 
                         di{\^a}metros, localizados a diferentes dist{\^a}ncias do 
                         substrato. Para a realiza{\c{c}}{\~a}o deste estudo foi 
                         empregado um aplicativo comercial de din{\^a}mica dos fluidos 
                         computacional. Com a utiliza{\c{c}}{\~a}o deste software foram 
                         realizadas modelagens tridimensionais do reator HFCVD considerando 
                         o transporte de calor e massa, a qu{\'{\i}}mica de fase gasosa e 
                         de superf{\'{\i}}cies para ambientes contendo somente 
                         hidrog{\^e}nio e para ambientes com hidrog{\^e}nio, metano e 
                         radicais precursores ao crescimento. Nessas modelagens foram 
                         utilizados par{\^a}metros fixos e vari{\'a}veis. Os 
                         par{\^a}metros fixos foram a temperatura do filamento, 
                         temperatura do substrato, a temperatura da parede do reator e o 
                         fluxo de entrada do g{\'a}s. Os par{\^a}metros vari{\'a}veis 
                         foram o di{\^a}metro do filamento, o n{\'u}mero de filamentos, a 
                         dist{\^a}ncia entre filamento e substrato, a dist{\^a}ncia entre 
                         filamentos e a press{\~a}o de trabalho do reator. Com a 
                         realiza{\c{c}}{\~a}o das modelagens foi poss{\'{\i}}vel obter 
                         a efici{\^e}ncia energ{\'e}tica do filamento quente, os perfis 
                         de temperatura, a velocidade e a concentra{\c{c}}{\~a}o de 
                         esp{\'e}cies. Isto permite uma an{\'a}lise dos resultados, de 
                         onde {\'e} poss{\'{\i}}vel indicar a melhor 
                         configura{\c{c}}{\~a}o de reator para obter a maior quantidade 
                         de hidrog{\^e}nio at{\^o}mico na regi{\~a}o do filamento quente 
                         e na regi{\~a}o do substrato, obter a melhor dist{\^a}ncia entre 
                         filamento e substrato e a melhor dist{\^a}ncia entre os 
                         filamentos. ABSTRACT: The hot filament is a key part in the growth 
                         process of thin films of diamond using HFCVD reactors. Thus, the 
                         study of the energy efficiency of filaments of different 
                         diameters, located at different distances from the substrate was 
                         done. For this study, commercial software for computational fluid 
                         dynamics was used. By using this software, a three-dimensional 
                         modeling of the HFCVD reactor is done, considering heat and mass 
                         transport, gas-phase and surface chemistries, reactor environments 
                         containing only hydrogen and containing hydrogen, methane. These 
                         modeling used fixed and variable parameters. The fixed parameters 
                         were the filament temperature, substrate temperature, the wall 
                         temperature and the flow of the gas. The variable parameters were 
                         the filament diameter, the number of filaments, the 
                         filament-substrate deep, the filaments distance and the internal 
                         reactor pressure. With this modeling the energy efficiency of the 
                         hot filament, the profiles of temperature, speed and species 
                         concentration were obtained. The results analysis shows the best 
                         direction of reactor configuration.",
            committee = "Airoldi, Vladimir Jesus Trava (presidente) and Travelho, 
                         Jer{\^o}nimo dos Santos (orientador) and Corat, Evaldo Jos{\'e} 
                         (orientador) and Nova, Elcio Francisco Villa and Moro, Jo{\~a}o 
                         Roberto",
           copyholder = "SID/SCD",
         englishtitle = "Three-dimensional modeling of hot filament reactor for diamond 
                         growth",
             language = "pt",
                pages = "164",
                  ibi = "8JMKD3MGP7W/36G7PAB",
                  url = "http://urlib.net/rep/8JMKD3MGP7W/36G7PAB",
           targetfile = "publicacao.pdf",
        urlaccessdate = "17 jan. 2021"
}


Fechar