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@MastersThesis{Ara˙jo:2015:OtSiIm,
               author = "Ara{\'u}jo, Michel Felipe Lima de",
                title = "Otimiza{\c{c}}{\~a}o de um sistema de implanta{\c{c}}{\~a}o 
                         i{\^o}nica por plasma de grande volume e alta pot{\^e}ncia",
               school = "Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE)",
                 year = "2015",
              address = "S{\~a}o Jos{\'e} dos Campos",
                month = "2015-02-24",
             keywords = "plasma, grande volume, alta pot{\^e}ncia, large-volume, high 
                         power.",
             abstract = "Este trabalho consiste no estudo da otimiza{\c{c}}{\~a}o de um 
                         sistema de implanta{\c{c}}{\~a}o i{\^o}nica por plasma de 
                         grande volume e alta pot{\^e}ncia. A c{\^a}mara de v{\'a}cuo 
                         utilizada possui um volume elevado (600 litros) que, por sua vez, 
                         facilita o tratamento de pe{\c{c}}as maiores comumente utilizadas 
                         na ind{\'u}stria e, at{\'e} mesmo, como no caso deste 
                         dispositivo, o tratamento em batelada de pe{\c{c}}as que formam 
                         os componentes espaciais de um sat{\'e}lite. A 
                         otimiza{\c{c}}{\~a}o foi realizada com os sucess{\'{\i}}veis 
                         ajustes dos seguintes par{\^a}metros de processamento 3IP, tais 
                         como: largura de pulso, frequ{\^e}ncia, press{\~a}o de trabalho 
                         e corrente no prim{\'a}rio do transformador de pulso da fonte de 
                         alta tens{\~a}o. Dentre uma gama de ajustes, os tr{\^e}s que 
                         apresentaram melhores valores de corrente e tens{\~a}o no suporte 
                         foram escolhidos para serem aplicados na fase de 
                         implanta{\c{c}}{\~a}o, com suporte de geometria retangular e um 
                         ajuste com suporte de geometria cil{\'{\i}}ndrica (tubo). Os 
                         resultados mostraram que o aumento do tempo de tratamento e a 
                         posi{\c{c}}{\~a}o do porta-amostras no interior da c{\^a}mara, 
                         influenciam diretamente no tratamento. Em rela{\c{c}}{\~a}o 
                         {\`a} implanta{\c{c}}{\~a}o no interior do tubo, os resultados 
                         mostraram que esta ocorre de maneira n{\~a}o uniforme, por{\'e}m 
                         h{\'a} melhorias nas propriedades qu{\'{\i}}micas e 
                         f{\'{\i}}sicas de sua superf{\'{\i}}cie interna. ABSTRACT: 
                         This work is about a study of the optimization of a plasma ion 
                         implantation system of large-volume and high power. The vacuum 
                         chamber used has a large volume (600 liters), which in turn 
                         facilitates the processing of large pieces commonly used in 
                         industrial applications and even, as in the case of this device, 
                         the batch processing of the space satellite components. The 
                         optimization was performed using the following settings of PIII 
                         processing parameters, such as pulse width, frequency, working gas 
                         pressure and current in the primary of the high voltage pulser. 
                         Among a range of settings, three important cases that presented 
                         better current and voltage values in support were chosen to be 
                         applied in the implantation phase, using rectangular geometry 
                         support and a hollow cylindrical geometry one. The measurements 
                         carried out in samples show that the increase in treatment time 
                         and the sample support position inside the chamber directly 
                         influence the treatment results. In relation to treatments within 
                         the tube, the results showed that implantation in its interior is 
                         non-uniform; however there are improvements in chemical and 
                         physical properties of its inner surface.",
            committee = "Ueda, Mario (presidente/orientador) and Mello, Carina Barros 
                         (orientador) and Berni, Luiz Angelo and Silva, Maria Margareth 
                         da",
           copyholder = "SID/SCD",
         englishtitle = "Optimization of a plasma ion implantation system of large chamber 
                         volume and high power",
             language = "pt",
                pages = "129",
                  ibi = "8JMKD3MGP3W34P/3HSNQLL",
                  url = "http://urlib.net/rep/8JMKD3MGP3W34P/3HSNQLL",
           targetfile = "publicacao.pdf",
        urlaccessdate = "26 nov. 2020"
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