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@InProceedings{SantosMell:2016:DEFIFI,
               author = "Santos, Michelle dos and Mello, Carina Barros",
          affiliation = "{Universidade Federal de S{\~a}o Paulo (UNIFESP)} and {Instituto 
                         Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE)}",
                title = "DEPOSI{\C{C}}{\~A}O DE FILMES FINOS COMPOSTOS DE Cr-N POR MEIO 
                         DE IMPLANTA{\C{C}}{\~A}O I{\^O}NICA POR IMERS{\~A}O EM PLASMA 
                         E DEPOSI{\C{C}}{\~A}O (3IP\&D) REATIVA",
                 year = "2016",
         organization = "Semin{\'a}rio de Inicia{\c{c}}{\~a}o Cient{\'{\i}}fica e 
                         Inicia{\c{c}}{\~a}o em Desenvolvimento Tecnol{\'o}gico e 
                         Inova{\c{c}}{\~a}o (SICINPE)",
                 note = "{Bolsa PIBIC/INPE/CNPq}",
             abstract = "Este trabalho, iniciado em agosto de 2015, teve como objetivo a 
                         modifica{\c{c}}{\~a}o das propriedades superficiais de 
                         a{\c{c}}o carbono SAE1070, sendo o objetivo espec{\'{\i}}fico a 
                         forma{\c{c}}{\~a}o de filmes de nitreto de cromo, pelo 
                         m{\'e}todo de implanta{\c{c}}{\~a}o i{\^o}nica por 
                         imers{\~a}o em plasma e deposi{\c{c}}{\~a}o (3IP\&D) reativa, 
                         com as seguintes propriedades: elevada dureza, resistentes {\`a} 
                         corros{\~a}o, oxida{\c{c}}{\~a}o e desgaste e fortemente 
                         aderidos {\`a} superf{\'{\i}}cie, de modo a melhorar as 
                         propriedades superficiais do a{\c{c}}o. Os filmes foram obtidos a 
                         partir de uma mistura gasosa precursora composta de 
                         Nitrog{\^e}nio (N2) e Arg{\^o}nio (Ar) com varia{\c{c}}{\~a}o 
                         de fluxo. O primeiro experimento foi realizado com uma 
                         propor{\c{c}}{\~a}o dos gases de 1:1 mantendo um fluxo de 5 sccm 
                         para ambos, em um segundo experimento aumentou-se a 
                         propor{\c{c}}{\~a}o de N2 (g), mantendo uma rela{\c{c}}{\~a}o 
                         de 2:1, com um fluxo de 10 sccm de N2 (g) e 5 sccm de Ar (g) e em 
                         um terceiro experimento realizou-se uma mistura de 1:2 em 
                         rela{\c{c}}{\~a}o a Ar (g), com um fluxo de 5 sccm de N2 (g) e 
                         10 sccm de Ar (g). A press{\~a}o de trabalho em ambos os 
                         experimentos foi mantida pr{\'o}ximo de 3x10-2 mbar. Foi aplicada 
                         uma pot{\^e}ncia em torno de 200 W no magnetron sputtering e ao 
                         mesmo tempo pulsos de alta tens{\~a}o negativa de 4 kV com 
                         corrente de 3,5 A (primeiro experimento) e 4,5 A (segundo e 
                         terceiro experimento), com frequ{\^e}ncia de 
                         repeti{\c{c}}{\~a}o de 500 Hz e largura de pulso de 20 
                         \μs, foram aplicados no tubo/porta amostra. O tempo total 
                         para a implanta{\c{c}}{\~a}o dos {\'{\i}}ons e 
                         deposi{\c{c}}{\~a}o foi de 60 minutos. Ap{\'o}s a 
                         obten{\c{c}}{\~a}o dos filmes, foi realizada a espectroscopia de 
                         fotoel{\'e}trons excitados por raios-X, que possibilitou a 
                         identifica{\c{c}}{\~a}o de nitreto de cromo, os quais 
                         apresentaram crescimento colunar nos dois primeiros experimentos 
                         de acordo com as an{\'a}lises realizadas por meio de microscopia 
                         de for{\c{c}}a at{\^o}mica. Com os resultados obtidos, pode ser 
                         conclu{\'{\i}}do que a associa{\c{c}}{\~a}o das t{\'e}cnicas 
                         de deposi{\c{c}}{\~a}o por magnetron sputtering e 
                         implanta{\c{c}}{\~a}o i{\^o}nica por imers{\~a}o em plasma 
                         mostrou-se bastante efetivo na forma{\c{c}}{\~a}o de filmes 
                         compostos aderidos {\`a} superf{\'{\i}}cie das amostras. Os 
                         resultados dos ensaios tribol{\'o}gicos mostraram que o filmes 
                         produzidos apresentam maior coeficiente de atrito em 
                         rela{\c{c}}{\~a}o ao substrato sem filme, entretanto apresentam 
                         baixo volume de material perdido por desgaste, mostrando boa 
                         resist{\^e}ncia ao desgaste. Para dar continuidade a este projeto 
                         de Inicia{\c{c}}{\~a}o Cient{\'{\i}}fica est{\~a}o 
                         programadas as atividades: Ensaios de corros{\~a}o; 
                         determina{\c{c}}{\~a}o da propor{\c{c}}{\~a}o ideal de 
                         nitrog{\^e}nio e arg{\^o}nio; prepara{\c{c}}{\~a}o e 
                         execu{\c{c}}{\~a}o de novos experimentos de 
                         implanta{\c{c}}{\~a}o i{\^o}nica e deposi{\c{c}}{\~a}o, 
                         tratamento das superf{\'{\i}}cies met{\'a}licas e 
                         verifica{\c{c}}{\~a}o de resultados te{\'o}ricos.",
  conference-location = "S{\~a}o Jos{\'e} dos Campos, SP",
      conference-year = "25-26 jul.",
             language = "pt",
           targetfile = "Santos_deposicao.pdf",
        urlaccessdate = "01 dez. 2020"
}


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