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		<citationkey>SáBarr:2006:CaToPl</citationkey>
		<author>Sá, Ubirajara Oliveira de,</author>
		<author>Barreto, Patrícia Regina Pereira,</author>
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		<group>LAP-CTE-INPE-MCT-BR</group>
		<affiliation>ETEP Faculdades</affiliation>
		<affiliation>Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE)</affiliation>
		<electronicmailaddress>ubirajaradesa@yahoo.com.br</electronicmailaddress>
		<electronicmailaddress>patricia@plasma.inpe.br</electronicmailaddress>
		<title>Caracterização de tochas de plasma utilizada para crescimento de filmes superduros</title>
		<year>2006</year>
		<institution>Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais</institution>
		<city>São José dos Campos</city>
		<keywords>plasma, filmes.</keywords>
		<abstract>Este trabalho iniciado em agosto de 2004 tem como objetivo o projeto de um novo canhão para a tocha de plasma utilizada na sintetização de filmes super duros. Para isto é necessário encontrar a região ótima de operação do sistema, através da caracterização do plasma, via sondas eletrostáticas, curvas de breakdown e características de descarga, para diferentes configurações de eletrodos. Numa primeira fase do trabalho, foi remontado o sistema de vácuo que estava desativado, com a inclusão de uma bomba roots e medidores de pressão deste a faixa de 2atm até 10-3mbar. O sistema de vácuo foi caracterizado através das curvas de pressão em função do tempo e apresentadas no relatório anterior. Na segunda fase do trabalho, o sistema elétrico da tocha de plasma foi modificado, com a alteração do filtro RLC. Com o sistema de vácuo funcionando e o novo circuito elétrico instalado, iniciou-se os disparos da tocha de plasma, considerando três configurações diferentes de catodos para um mesmo anodo. A aquisição de dados foi feita conectando o experimento a um osciloscópio Textronics TDS3014B e este ao microcomputador onde as informações ficam armazenadas para posteriormente serem analisadas. Foram coletados três canais no osciloscópio, um representa a queda de tensão entre os eletrodos, e os outros dois representam a queda de tensão em resistências padrão, que serem utilizados na determinação da corrente da descarga. Esses dados são importados diretamente em programas gráficos para a construção das curvas características. Utilizando um programa em Fortran, escrito para esta finalidade, foi determinado a média e o desvio padrão dos dados coletados para cada uma das configurações dos eletrodos. Também, foram determinadas as curvas de Breakdonw (ruptura da descarga) para os diferentes catodos e verificou-se que tensão mínima necessária para iniciar a descarga com o catodo de 1/4 de tungstênio é de 617,5 ± 18,6V, enquanto que para o catodo de 1/8 de tungstênio esta tensão cai para 345,4 ± 17,2 V, e a curva característica da descarga (V × I - tensão versus corrente) nestes dois casos é na faixa de 50V × 20  70A. A tensão de ruptura para o catodo de 10mm de molibdênio é de 328,5 ± 81,1V e mesma condição de V × I. A partir destas curvas será possível escolher algumas condições para a determinação dos parâmetros de plasma. Numa terceira etapa do trabalho, iniciaram-se os estudos de equilíbrio termodinâmico da descarga, considerando a descarga de N2 e NF3, de interesse no crescimento de filmes superduros. Neste estudo foi considerada a reação &#945;N2 + &#946;NF3 = Produtos, e as frações molares dos produtos foram determinadas utilizando o programa STANAJN para diferentes valores de &#945; e &#946; e condições de pressão e temperaturas típicas do experimento. Depois utilizando-se de um código cinético, ChemKin, foi determinada a composição da fase gasosa e comparada com os dados de equilíbrio.</abstract>
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		<notes>Bolsa PIBIC/INPE/CNPq</notes>
		<language>pt</language>
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