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@TechReport{SilvaNetoTravCora:2015:EsCoTa,
               author = "Silva Neto, Jos{\'e} Vieira da and Trava-Airoldi, Vladimir Jesus 
                         and Corat, Evaldo Jos{\'e}",
                title = "Estudos do controle da taxa de crescimento de diamante cvd de grau 
                         mono cristalino em reator de micro-ondas de alta pot{\^e}ncia",
          institution = "Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais",
                 year = "2015",
                 type = "RPQ",
              address = "S{\~a}o Jos{\'e} dos Campos",
                 note = "{Bolsa PIBIC/INPE/CNPq}",
             keywords = "Reator MWCVD, Automatiza{\c{c}}{\~a}o.",
             abstract = "O projeto em Diamante - CVD e seus Materiais Relacionados, O 
                         DIMARE, do INPE tem estado sempre em evid{\^e}ncia, dirigido para 
                         os interesses de aplica{\c{c}}{\~o}es espaciais foi, tamb{\'e}m 
                         absorvido, por dois projetos tem{\'a}ticos. Objetiva-se com esta 
                         proposta, inovar para uma das mais cobi{\c{c}}adas {\'a}reas de 
                         estudos em Diamante CVD, que {\'e} a de obter o diamante em 
                         estrutura mono cristalina via baixas press{\~o}es e baixas 
                         temperaturas, ou seja, via rea{\c{c}}{\~o}es qu{\'{\i}}micas 
                         na fase vapor. Neste trabalho, estudou-se uma maneira de controlar 
                         mecanicamente o deslocamento do porta substrato na mesma 
                         velocidade da taxa de crescimento do filme de diamante, que {\'e} 
                         um procedimento necess{\'a}rio para se obter grau mono 
                         cristalino, bem como a pr{\'a}tica de crescimento de diamante 
                         CVD. Para isso o reator MWCVD foi desmontado e devidamente 
                         preparado, atrav{\'e}s da substitui{\c{c}}{\~a}o e 
                         adi{\c{c}}{\~a}o de componentes de seus subsistemas, seguido 
                         pela montagem. O projeto de movimenta{\c{c}}{\~a}o do porta 
                         substrato foi constru{\'{\i}}do e se baseia em um servomotor 
                         controlado por um CLP e um drive. Far{\'a} parte deste sistema um 
                         pir{\^o}metro otico e um fuso de esfera para converter movimento 
                         rotativo em linear. Simultaneamente, foi realizado o crescimento 
                         de filme de diamante CVD em reator HFCVD usando WC-Co como 
                         substrato previamente tratado com solu{\c{c}}{\~a}o de Murakami 
                         para aumentar a rugosidade e {\'A}gua R{\'e}gia para retirada do 
                         cobalto, um catalizador da forma{\c{c}}{\~a}o de grafite. Ao 
                         susbtrato foi adicionado nano particulas de diamante (seeding) e 
                         ent{\~a}o o filme foi crescido. Para a an{\'a}lise as amostras 
                         foram submetida a AFM, MEV, EDX e Espectroscopia Raman e o teste 
                         de indenta{\c{c}}{\~a}o. A an{\'a}lise dos resultados obtidos 
                         confirmaram o crescimento do filme de diamante na 
                         superf{\'{\i}}cie de WC-Co, sugerindo uma eficiencia dos 
                         pr{\'e} tratamentos qu{\'{\i}}micos. No entanto o teste de 
                         indenta{\c{c}}{\~a}o revelou a delamina{\c{c}}{\~a}o total do 
                         diamante, resultado da baixa ader{\^e}ncia do filme. Pode-se 
                         concluir atrav{\'e}s deste estapa do estudo que os tratamentos 
                         qu{\'{\i}}micos foram eficientes para o seus respectivos fins e 
                         que o projeto de movimenta{\c{c}}{\~a}o do porta substrato 
                         encontra-se pronto para ser implemetado ao rator MWCVD.",
          affiliation = "Instituto Federal de Educa{\c{c}}{\~a}o, Ci{\^e}ncia e 
                         Tecnologia de S{\~a}o Paulo (IFSP) and {Instituto Nacional de 
                         Pesquisas Espaciais (INPE)} and {Instituto Nacional de Pesquisas 
                         Espaciais (INPE)}",
             language = "pt",
                pages = "26",
                  ibi = "8JMKD3MGP3W34R/432MFDS",
                  url = "http://urlib.net/rep/8JMKD3MGP3W34R/432MFDS",
           targetfile = "Jos{\'e} Vieira da Silva Neto.pdf",
        urlaccessdate = "17 jan. 2021"
}


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