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1. Identificação
Tipo de ReferênciaTese ou Dissertação (Thesis)
Sitemtc-m16b.sid.inpe.br
Código do Detentorisadg {BR SPINPE} ibi 8JMKD3MGPCW/3DT298S
Identificador6qtX3pFwXQZGivnK2Y/SdtiK
Repositóriosid.inpe.br/mtc-m17@80/2007/11.20.17.39   (acesso restrito)
Última Atualização2008:04.29.17.26.10 (UTC) administrator
Repositório de Metadadossid.inpe.br/mtc-m17@80/2007/11.20.17.39.37
Última Atualização dos Metadados2018:06.05.03.35.13 (UTC) administrator
Chave SecundáriaINPE-15189-TDI/1298
Chave de CitaçãoRamos:2007:EfCoCá
TítuloFilme de diamante nanocristalino: efeito de confinamento e cálculo da tensão residual a partir de espectroscopia de espalhamento Raman
Título AlternativoNanocrystalline diamond films: confinement effects and calculation of stress total from raman scattering spectroscopy
CursoCMS-SPG-INPE-MCT-BR
Ano2007
Data Secundária20080425
Data2007-12-20
Data de Acesso30 jun. 2024
Tipo da TeseDissertação (Mestrado em Ciência e Tecnologia de Materiais e Sensores)
Tipo SecundárioTDI
Número de Páginas92
Número de Arquivos191
Tamanho18303 KiB
2. Contextualização
AutorRamos, Sandra Cristina
GrupoCMS-SPG-INPE-MCT-BR
BancaTrava-Airoldi, Vladimir Jesus (presidente)
Baldan, Maurício Ribeiro (orientador)
Gomes, FerreiraNeidenêi (orientador)
Abramof, Patrícia Guimarães
Corat, Evaldo José
Kostov Gonçalves da Silva, Leide Lili
UniversidadeInstituto Nacional de Pesquisas Espaciais
CidadeSão José dos Campos
Histórico (UTC)2007-11-20 17:39:37 :: sandra@las.inpe.br -> yolanda ::
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2018-06-05 03:35:13 :: administrator -> marciana :: 2007
3. Conteúdo e estrutura
É a matriz ou uma cópia?é a matriz
Estágio do Conteúdoconcluido
Transferível1
Palavras-Chavefilmes finos
confinamento
CVD
nanodiamante
espectroscopia raman
thin films
cvd
confinement
raman spectroscopy
ResumoA morfologia e estrutura de filmes de diamante nano ou ultrananocristalinos, crescidos por deposição química da fase vapor (Chemical Vapor Deposition-CVD), sobre substrato de Si, são estudadas sistematicamente, variando-se a concentração de metano na mistura precursora de Ar/H2/CH4. Os filmes, analisados por microscopia eletrônica de varredura de alta resolução apresentaram uma morfologia de aglomerados de nanocristalitos, que diminuem de tamanho em função da adição de CH4 na fase gasosa. As técnicas de espectroscopia de espalhamento Raman e difração de raios-x de alta resolução foram utilizadas para caracterização estrutural do filme. A partir dos espectros Raman, a tensão induzida nos filmes de nanodiamante foi analisada pelo deslocamento do pico G, devido ao aumento da incorporação de defeitos e sp2. A tensão compressiva aumenta em função da adição de CH4, que também promove um alargamento dos picos de transpoliacetileno, contribuindo para uma amorfitizaçãoo do filme. Esse resultado está de acordo com os difratogramas de raios-x, cuja largura a meia altura do pico de diamante (111) foi utilizada, através da fórmula de Scherrer, para calcular o tamanho dos cristalitos do filme de nanodiamante, com valores entre 3.5 e 8.0 nm. O modelo de confinamento de fônons também foi testado e validado, para grãos nanométricos isolados, utilizando filmes de diamante em estágios iniciais de crescimento. ABSTRACT: The morphology and structure of nano or ultranano crystalline diamond grown from Chemical Vapor Depositision technique, on Si substrate, are systematically studied by varying the methane concentration in the Ar/H2/CH4 precursor mixture. The films, analyzed by high resolution scanning electron microscopy, showed cluster morphology of nanocrystallites that decrease their grain size as a function of the CH4 addition in the gas phase. Raman scattering spectroscopy and high resolution x-ray diffraction techniques were used for the film structural characterization. From Raman spectra, the induced stress of nanodiamond films were analyzed by the G peak shift, due to the defects incorporation and sp2 bonds enhancement. The compressive stress increase as a function of CH4 addition, which also promote band broadening of transpoliacetilene peak, leading to the film amorphitization. This results is in agreement with the x-ray diffractograms, where the full width half maximum (FWHM) of the (111) diamond peak was used, to evaluate the nanodiamond crystallite sizes, from Scherrers equation, with values between 3.5 up to 8.0 nm. The phonon confinement model was also tested and validated for isolated nanometric grains using diamond films in their first growth stage.
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5. Fontes relacionadas
Unidades Imediatamente Superiores8JMKD3MGPCW/3F358GL
Lista de Itens Citandosid.inpe.br/bibdigital/2013/10.14.21.39 1
DivulgaçãoNTRSNASA; BNDEPOSITOLEGAL.
Acervo Hospedeirolcp.inpe.br/ignes/2004/02.12.18.39
cptec.inpe.br/walmeida/2003/04.25.17.12
6. Notas
Campos Vaziosacademicdepartment affiliation archivingpolicy archivist callnumber contenttype copyright creatorhistory descriptionlevel doi e-mailaddress electronicmailaddress format isbn issn label lineage mark mirrorrepository nextedition notes number orcid parameterlist parentrepositories previousedition previouslowerunit progress resumeid rightsholder schedulinginformation secondarymark session shorttitle sponsor subject tertiarymark tertiarytype url versiontype
7. Controle da descrição
e-Mail (login)marciana
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