1. Identificação | |
Tipo de Referência | Artigo em Revista Científica (Journal Article) |
Site | marte3.sid.inpe.br |
Código do Detentor | isadg {BR SPINPE} ibi 8JMKD3MGPCW/3DT298S |
Identificador | 6qtX3pFwXQZsFDuKxG/zah36 |
Repositório | sid.inpe.br/marciana/2003/08.15.16.10 (acesso restrito) |
Última Atualização | 2014:05.13.18.36.42 (UTC) administrator |
Repositório de Metadados | sid.inpe.br/marciana/2003/08.15.16.10.00 |
Última Atualização dos Metadados | 2018:06.06.03.57.15 (UTC) administrator |
Chave Secundária | INPE-9888-PRE/5461 |
DOI | 10.1016/S0008-6223(03)00071-X |
ISSN | 0008-6223 |
Chave de Citação | FerreiraAbraCoraTrav:2003:ReStCr |
Título | Residual stresses and crystalline quality of heavily boron-doped diamond films analysed by micro-Raman spectroscopy and X-ray diffraction ![](http://marte3.sid.inpe.br/col/dpi.inpe.br/banon/2000/01.23.20.24/doc/externalLink.gif) |
Projeto | CNPq (81208/97-4); FAPESP (95/6219-4) |
Ano | 2003 |
Data de Acesso | 25 jun. 2024 |
Tipo de Trabalho | journal article |
Tipo Secundário | PRE PI |
Número de Arquivos | 1 |
Tamanho | 121 KiB |
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2. Contextualização | |
Autor | 1 Ferreira, Neidenei Gomes 2 Abramof, Eduardo 3 Corat, Evaldo José 4 Trava-Airoldi, Vladimir Jesus |
Grupo | 1 LAS-INPE-MCT-BR 2 LAS-INPE-MCT-BR 3 LAS-INPE-MCT-BR 4 LAS-INPE-MCT-BR |
Afiliação | 1 Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE) 2 Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE) 3 Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE) 4 Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE) |
Endereço de e-Mail do Autor | 1 neidenei@las.inpe.br 2 eduardo.abramof@inpe.br 3 corat@las.inpe.br 4 vladimir@las.inpe.br |
Revista | Carbon |
Volume | 41 |
Número | 6 |
Páginas | 1301-1308 |
Histórico (UTC) | 2013-10-17 12:10:05 :: administrator -> marciana :: 2003 2014-05-13 18:36:46 :: marciana -> administrator :: 2003 2018-06-06 03:57:15 :: administrator -> :: 2003 |
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3. Conteúdo e estrutura | |
É a matriz ou uma cópia? | é a matriz |
Estágio do Conteúdo | concluido |
Transferível | 1 |
Tipo do Conteúdo | External Contribution |
Tipo de Versão | publisher |
Palavras-Chave | diamond doping Raman spectroscopy X-ray diffraction thin-films cvd strain electrodes growth plasma state |
Resumo | X-ray diffraction analysis and micro-Raman spectroscopy measurements have been used for stress studies on HFCVD diamond films with different levels of boron doping. The boron incorporation in the film varied in the range 10(18)-10(21) boron/cm(3). The grain size, obtained from SEM images, showed grains with 2-4-mum average size, which decreases when the doping level increases. The thickness of the films obtained by SEM cross-section view decreased from 8 to 5 Rut as the doping level increased from 0 (undoped film) to 10(21) boron/cm(3). The total residual stress was determined by measuring, for each sample. the (331) diamond Bragg diffraction peak for psi-values ranging from -60degrees to +60degrees, and applying the sin(2) psi method. For the micro-Raman spectroscopy the spectral analysis performed on each sample allowed the determination of the residual stress. from the diamond Raman peak shifts, and also the diamond purity, which decreases from 99 to 75% as the doping level increases. The type and magnitude of the residual stress obtained from X-ray and micro-Raman measurements agreed well only for undoped film, disagreeing when the doping level increased. We attributed this discrepancy to the domain size characteristic of each technique. |
Área | FISMAT |
Arranjo | urlib.net > BDMCI > Fonds > Produção anterior à 2021 > LABAS > Residual stresses and... |
Conteúdo da Pasta doc | acessar |
Conteúdo da Pasta source | não têm arquivos |
Conteúdo da Pasta agreement | não têm arquivos |
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4. Condições de acesso e uso | |
Idioma | en |
Arquivo Alvo | 1-s2.0-S000862230300071X-main.pdf |
Grupo de Usuários | administrator |
Grupo de Leitores | administrator marciana |
Visibilidade | shown |
Detentor da Cópia | SID/SCD |
Política de Arquivamento | denypublisher denyfinaldraft24 |
Permissão de Leitura | deny from all and allow from 150.163 |
Permissão de Atualização | não transferida |
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5. Fontes relacionadas | |
Unidades Imediatamente Superiores | 8JMKD3MGPCW/3ESR3H2 |
Lista de Itens Citando | |
Divulgação | WEBSCI; PORTALCAPES. |
Acervo Hospedeiro | sid.inpe.br/banon/2001/04.03.15.36 |
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6. Notas | |
Campos Vazios | alternatejournal archivist callnumber copyright creatorhistory descriptionlevel e-mailaddress format isbn label lineage mark mirrorrepository month nextedition notes orcid parameterlist parentrepositories previousedition previouslowerunit progress resumeid rightsholder schedulinginformation secondarydate secondarymark session shorttitle sponsor subject tertiarymark tertiarytype url |
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