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1. Identificação
Tipo de ReferênciaArtigo em Revista Científica (Journal Article)
Sitemarte3.sid.inpe.br
Código do Detentorisadg {BR SPINPE} ibi 8JMKD3MGPCW/3DT298S
Identificador6qtX3pFwXQZsFDuKxG/zah36
Repositóriosid.inpe.br/marciana/2003/08.15.16.10   (acesso restrito)
Última Atualização2014:05.13.18.36.42 (UTC) administrator
Repositório de Metadadossid.inpe.br/marciana/2003/08.15.16.10.00
Última Atualização dos Metadados2018:06.06.03.57.15 (UTC) administrator
Chave SecundáriaINPE-9888-PRE/5461
DOI10.1016/S0008-6223(03)00071-X
ISSN0008-6223
Chave de CitaçãoFerreiraAbraCoraTrav:2003:ReStCr
TítuloResidual stresses and crystalline quality of heavily boron-doped diamond films analysed by micro-Raman spectroscopy and X-ray diffraction
ProjetoCNPq (81208/97-4); FAPESP (95/6219-4)
Ano2003
Data de Acesso25 jun. 2024
Tipo de Trabalhojournal article
Tipo SecundárioPRE PI
Número de Arquivos1
Tamanho121 KiB
2. Contextualização
Autor1 Ferreira, Neidenei Gomes
2 Abramof, Eduardo
3 Corat, Evaldo José
4 Trava-Airoldi, Vladimir Jesus
Grupo1 LAS-INPE-MCT-BR
2 LAS-INPE-MCT-BR
3 LAS-INPE-MCT-BR
4 LAS-INPE-MCT-BR
Afiliação1 Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE)
2 Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE)
3 Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE)
4 Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE)
Endereço de e-Mail do Autor1 neidenei@las.inpe.br
2 eduardo.abramof@inpe.br
3 corat@las.inpe.br
4 vladimir@las.inpe.br
RevistaCarbon
Volume41
Número6
Páginas1301-1308
Histórico (UTC)2013-10-17 12:10:05 :: administrator -> marciana :: 2003
2014-05-13 18:36:46 :: marciana -> administrator :: 2003
2018-06-06 03:57:15 :: administrator -> :: 2003
3. Conteúdo e estrutura
É a matriz ou uma cópia?é a matriz
Estágio do Conteúdoconcluido
Transferível1
Tipo do ConteúdoExternal Contribution
Tipo de Versãopublisher
Palavras-Chavediamond
doping
Raman spectroscopy
X-ray diffraction
thin-films
cvd
strain
electrodes
growth
plasma
state
ResumoX-ray diffraction analysis and micro-Raman spectroscopy measurements have been used for stress studies on HFCVD diamond films with different levels of boron doping. The boron incorporation in the film varied in the range 10(18)-10(21) boron/cm(3). The grain size, obtained from SEM images, showed grains with 2-4-mum average size, which decreases when the doping level increases. The thickness of the films obtained by SEM cross-section view decreased from 8 to 5 Rut as the doping level increased from 0 (undoped film) to 10(21) boron/cm(3). The total residual stress was determined by measuring, for each sample. the (331) diamond Bragg diffraction peak for psi-values ranging from -60degrees to +60degrees, and applying the sin(2) psi method. For the micro-Raman spectroscopy the spectral analysis performed on each sample allowed the determination of the residual stress. from the diamond Raman peak shifts, and also the diamond purity, which decreases from 99 to 75% as the doping level increases. The type and magnitude of the residual stress obtained from X-ray and micro-Raman measurements agreed well only for undoped film, disagreeing when the doping level increased. We attributed this discrepancy to the domain size characteristic of each technique.
ÁreaFISMAT
Arranjourlib.net > BDMCI > Fonds > Produção anterior à 2021 > LABAS > Residual stresses and...
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4. Condições de acesso e uso
Idiomaen
Arquivo Alvo1-s2.0-S000862230300071X-main.pdf
Grupo de Usuáriosadministrator
Grupo de Leitoresadministrator
marciana
Visibilidadeshown
Detentor da CópiaSID/SCD
Política de Arquivamentodenypublisher denyfinaldraft24
Permissão de Leituradeny from all and allow from 150.163
Permissão de Atualizaçãonão transferida
5. Fontes relacionadas
Unidades Imediatamente Superiores8JMKD3MGPCW/3ESR3H2
Lista de Itens Citando
DivulgaçãoWEBSCI; PORTALCAPES.
Acervo Hospedeirosid.inpe.br/banon/2001/04.03.15.36
6. Notas
Campos Vaziosalternatejournal archivist callnumber copyright creatorhistory descriptionlevel e-mailaddress format isbn label lineage mark mirrorrepository month nextedition notes orcid parameterlist parentrepositories previousedition previouslowerunit progress resumeid rightsholder schedulinginformation secondarydate secondarymark session shorttitle sponsor subject tertiarymark tertiarytype url


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