@Book{MarcondesMell:2015:LiPaRC,
               author = "Marcondes, Andr{\'e} Ricardo and Mello, Carina Barros",
                title = "Procedimento de limpeza de l{\^a}minas de sil{\'{\i}}cio: 
                         limpeza padr{\~a}o RCA",
            publisher = "Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais",
                 year = "2015",
              address = "S{\~a}o Jos{\'e} dos Campos",
             keywords = "procedimentos, l{\^a}minas de sil{\'{\i}}cio, processo RCA.",
             abstract = "Este documento apresenta alguns conceitos te{\'o}ricos e os 
                         procedimentos necess{\'a}rios para a execu{\c{c}}{\~a}o de 
                         limpeza de l{\^a}minas de sil{\'{\i}}cio destinadas ao 
                         tratamento por implanta{\c{c}}{\~a}o i{\^o}nica por 
                         imers{\~a}o em plasma.",
          affiliation = "{Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE)} and {Instituto 
                         Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE)}",
           copyholder = "SID/SCD",
                label = "self-archiving-INPE-MCTI-GOV-BR",
             language = "pt",
                pages = "19",
                  ibi = "8JMKD3MGP3W34P/3JCB2CE",
                  url = "http://urlib.net/ibi/8JMKD3MGP3W34P/3JCB2CE",
           targetfile = "publicacao.pdf",
        urlaccessdate = "23 maio 2024"
}