@InProceedings{MelloMarSilPilUed:2008:FONASi,
               author = "Mello, Carina Barros and Marcondes, A. R. and Silva J{\'u}nior, 
                         A. R. and Pillaca, E. J. D. M. and Ueda, M{\'a}rio",
          affiliation = "{Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE)} and {} and {} 
                         and {} and {Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE)}",
                title = "FORMA{\C{C}}{\~A}O DE NANOCRISTAIS DE Si POR 
                         IMPLANTA{\C{C}}{\~A}O I{\^O}NICA POR IMERS{\~A}O EM PLASMA DE 
                         ENERGIA MODERADA",
                 year = "2008",
         organization = "Congresso Brasileiro de Aplica{\c{c}}{\~o}es de V{\'a}cuo na 
                         Ind{\'u}stria e na Ci{\^e}ncia.",
  conference-location = "Joinville, SC",
      conference-year = "23 - 26 set.",
        urlaccessdate = "16 jun. 2024"
}