@MastersThesis{Ramos:2007:EfCoCá,
               author = "Ramos, Sandra Cristina",
                title = "Filme de diamante nanocristalino: efeito de confinamento e 
                         c{\'a}lculo da tens{\~a}o residual a partir de espectroscopia de 
                         espalhamento Raman",
               school = "Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais",
                 year = "2007",
              address = "S{\~a}o Jos{\'e} dos Campos",
                month = "2007-12-20",
             keywords = "filmes finos, confinamento, CVD, nanodiamante, espectroscopia 
                         raman, thin films, cvd, confinement, raman spectroscopy.",
             abstract = "A morfologia e estrutura de filmes de diamante nano ou 
                         ultrananocristalinos, crescidos por deposi{\c{c}}{\~a}o 
                         qu{\'{\i}}mica da fase vapor (Chemical Vapor Deposition-CVD), 
                         sobre substrato de Si, s{\~a}o estudadas sistematicamente, 
                         variando-se a concentra{\c{c}}{\~a}o de metano na mistura 
                         precursora de Ar/H2/CH4. Os filmes, analisados por microscopia 
                         eletr{\^o}nica de varredura de alta resolu{\c{c}}{\~a}o 
                         apresentaram uma morfologia de aglomerados de nanocristalitos, que 
                         diminuem de tamanho em fun{\c{c}}{\~a}o da adi{\c{c}}{\~a}o de 
                         CH4 na fase gasosa. As t{\'e}cnicas de espectroscopia de 
                         espalhamento Raman e difra{\c{c}}{\~a}o de raios-x de alta 
                         resolu{\c{c}}{\~a}o foram utilizadas para 
                         caracteriza{\c{c}}{\~a}o estrutural do filme. A partir dos 
                         espectros Raman, a tens{\~a}o induzida nos filmes de nanodiamante 
                         foi analisada pelo deslocamento do pico G, devido ao aumento da 
                         incorpora{\c{c}}{\~a}o de defeitos e sp2. A tens{\~a}o 
                         compressiva aumenta em fun{\c{c}}{\~a}o da adi{\c{c}}{\~a}o de 
                         CH4, que tamb{\'e}m promove um alargamento dos picos de 
                         transpoliacetileno, contribuindo para uma 
                         amorfitiza{\c{c}}{\~a}oo do filme. Esse resultado est{\'a} de 
                         acordo com os difratogramas de raios-x, cuja largura a meia altura 
                         do pico de diamante (111) foi utilizada, atrav{\'e}s da 
                         f{\'o}rmula de Scherrer, para calcular o tamanho dos cristalitos 
                         do filme de nanodiamante, com valores entre 3.5 e 8.0 nm. O modelo 
                         de confinamento de f{\^o}nons tamb{\'e}m foi testado e validado, 
                         para gr{\~a}os nanom{\'e}tricos isolados, utilizando filmes de 
                         diamante em est{\'a}gios iniciais de crescimento. ABSTRACT: The 
                         morphology and structure of nano or ultranano crystalline diamond 
                         grown from Chemical Vapor Depositision technique, on Si substrate, 
                         are systematically studied by varying the methane concentration in 
                         the Ar/H2/CH4 precursor mixture. The films, analyzed by high 
                         resolution scanning electron microscopy, showed cluster morphology 
                         of nanocrystallites that decrease their grain size as a function 
                         of the CH4 addition in the gas phase. Raman scattering 
                         spectroscopy and high resolution x-ray diffraction techniques were 
                         used for the film structural characterization. From Raman spectra, 
                         the induced stress of nanodiamond films were analyzed by the G 
                         peak shift, due to the defects incorporation and sp2 bonds 
                         enhancement. The compressive stress increase as a function of CH4 
                         addition, which also promote band broadening of transpoliacetilene 
                         peak, leading to the film amorphitization. This results is in 
                         agreement with the x-ray diffractograms, where the full width half 
                         maximum (FWHM) of the (111) diamond peak was used, to evaluate the 
                         nanodiamond crystallite sizes, from Scherrers equation, with 
                         values between 3.5 up to 8.0 nm. The phonon confinement model was 
                         also tested and validated for isolated nanometric grains using 
                         diamond films in their first growth stage.",
            committee = "Trava-Airoldi, Vladimir Jesus (presidente) and Baldan, 
                         Maur{\'{\i}}cio Ribeiro (orientador) and Gomes, 
                         FerreiraNeiden{\^e}i (orientador) and Abramof, Patr{\'{\i}}cia 
                         Guimar{\~a}es and Corat, Evaldo Jos{\'e} and Kostov 
                         Gon{\c{c}}alves da Silva, Leide Lili",
           copyholder = "SID/SCD",
         englishtitle = "Nanocrystalline diamond films: confinement effects and calculation 
                         of stress total from raman scattering spectroscopy",
             language = "pt",
                pages = "92",
                  ibi = "6qtX3pFwXQZGivnK2Y/SdtiK",
                  url = "http://urlib.net/ibi/6qtX3pFwXQZGivnK2Y/SdtiK",
           targetfile = "paginadeacesso.html",
        urlaccessdate = "27 jun. 2024"
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