@InProceedings{SouzaAzevFerr:2010:FiDiNa,
               author = "Souza, Fernando Almeida de and Azevedo, Adriana Faria and 
                         Ferreira, Neiden{\^e}i Gomes",
          affiliation = "{Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE)} and {Instituto 
                         Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE)} and {Instituto Nacional de 
                         Pesquisas Espaciais (INPE)}",
                title = "Filmes de diamante nanocristalinos dopados com boro",
            booktitle = "Anais...",
                 year = "2010",
         organization = "Workshop em Engenharia e Tecnologia Espaciais, 1. (WETE).",
            publisher = "INPE",
              address = "S{\~a}o Jos{\'e} dos Campos",
             keywords = "materiais nanocristalinos, filmes de diamante, dopagens de filmes 
                         com boro.",
             abstract = "Este trabalho tem como objetivo obter um filme nanocristalino de 
                         diamante dopado com boro e caracteriz{\'a}-lo quanto {\`a} 
                         morfologia da superf{\'{\i}}cie e as propriedades 
                         semicondutoras, para aplica{\c{c}}{\~o}es em sensores 
                         eletroqu{\'{\i}}micos. O filme {\'e} crescido sobre um 
                         substrato de sil{\'{\i}}cio, atrav{\'e}s do m{\'e}todo de 
                         deposi{\c{c}}{\~a}o qu{\'{\i}}mica a partir da fase vapor, 
                         ativado por filamento quente para a s{\'{\i}}ntese de filmes de 
                         diamante a baixa press{\~a}o. O filme antes do crescimento passou 
                         por um processo de ranhura da superf{\'{\i}}cie com diamante 
                         particulado, onde fragmentos nanom{\'e}tricos deste alojam-se na 
                         superf{\'{\i}}cie do sil{\'{\i}}cio. A mistura gasosa 
                         padr{\~a}o utilizada em todos os experimentos foi: metano, 
                         arg{\^o}nio e hidrog{\^e}nio. A espessura do filme de 
                         nanodiamante obtido nas amostras foi proporcional ao tempo de 
                         crescimento, e conforme maior foi esse tempo houve uma 
                         diminui{\c{c}}{\~a}o dos aglomerados o que deixou a 
                         superf{\'{\i}}cie mais plana. Todos os filmes apresentaram uma 
                         superf{\'{\i}}cie hidrof{\'{\i}}lica. Aglomerados de 
                         nanocristais, que apresentam maior quantidade de 
                         liga{\c{c}}{\~o}es spē no contorno dos gr{\~a}os e que 
                         favorecem as caracter{\'{\i}}sticas semicondutoras, foram 
                         obtidos nos filmes crescidos por 6 horas. Segundo a literatura, a 
                         dopagem destes filmes ainda est{\'a} muito baixa, assim, o uso de 
                         uma maior concentra{\c{c}}{\~a}o do dopante boro ir{\'a} 
                         garantir uma melhora no comportamento semicondutor destes 
                         filmes.",
  conference-location = "S{\~a}o Jos{\'e} dos Campos",
      conference-year = "30 mar. - 1 abr. 2010",
                 issn = "2177-3114",
             language = "en",
                  ibi = "8JMKD3MGP7W/38UKN6S",
                  url = "http://urlib.net/ibi/8JMKD3MGP7W/38UKN6S",
           targetfile = "CSE_ssme_1065-eng.pdf",
               volume = "IWETE2010-1057",
        urlaccessdate = "27 jun. 2024"
}