@InProceedings{PillacaUedaSilvKost:2009:EsSuMa,
author = "Pillaca, E. J. D. M. and Ueda, M{\'a}rio and Silva Junior, A. R.
da and Kostov, K. G.",
affiliation = "{Universidade Estadual Paulista-UNESP/FEG} and {Instituto Nacional
de Pesquisas Espaciais (INPE)} and {Instituto Nacional de
Pesquisas Espaciais (INPE)} and {Universidade Estadual
Paulista-UNESP/FEG}",
title = "Estudo da supress{\~a}o magn{\'e}tica de el{\'e}trons
secund{\'a}rios no processo de implanta{\c{c}}{\~a}o
i{\^o}nica por imers{\~a}o em plasma",
booktitle = "Anais...",
year = "2009",
organization = "Congresso Brasileiro de Aplica{\c{c}}{\~o}es de V{\'a}cuo na
Ind{\'u}stria e na Ci{\^e}ncia, 30. (CBRAVIC).",
conference-location = "Campos do Jord{\~a}o, SP",
conference-year = "13-16 set.",
targetfile = "estudo da supressao.pdf",
urlaccessdate = "16 jun. 2024"
}