@Booklet{MiglioriniAleLimBalFer:2013:MaPrCr,
title = "Manual de procedimentos para crescimento de filmes de diamante
dopado com boro crescidos sobre tit{\^a}nio",
author = "Migliorini, Fernanda Lanzoni and Alegre, Marcela Dalprat and Lima,
Marcos Roberto de Vasconcelos and Baldan, Mauricio Ribeiro and
Ferreira, Neidenei Gomes",
year = "2013",
keywords = "manual, filmes de diamante, tit{\^a}nio.",
abstract = "Este trabalho apresenta como proposta descrever os procedimentos
para o crescimento de filmes de diamante dopado com boro crescidos
sobre tit{\^a}nio. Estes filmes foram crescidos pela t{\'e}cnica
de deposi{\c{c}}{\~a}o qu{\'{\i}}mica na fase vapor (Chemical
Vapor Deposition- CVD) utilizando um reator de filamento quente.
{\'E} apresentada nesta norma t{\'e}cnica toda a parte de
prepara{\c{c}}{\~a}o do substrato, bem como a do reator de
crescimento e as condi{\c{c}}{\~o}es experimentais estabelecidas
para se obter um filme de diamante dopado com boro homog{\^e}neo
e bem aderente no substrato de tit{\^a}nio. ABSTRACT: This work
presents a proposal to describe the procedures for the growth of
boron doped diamond films grown on titanium. These films are grown
by the technique of chemical vapor deposition ({"}Chemical Vapor
Deposition{"} - CVD) using a hot filament reactor. is presented in
this standard technique for the preparation of the substrate, as
well as the growth reactor, and set the experimental conditions to
obtain a boron doped diamond film homogeneous and well adherent to
the substrate of titanium.",
affiliation = "{Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE)} and {} and {}
and {Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE)} and
{Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE)}",
label = "self-archiving-INPE-MCTI-GOV-BR",
language = "pt",
ibi = "8JMKD3MGP7W/3FGN4U8",
url = "http://urlib.net/ibi/8JMKD3MGP7W/3FGN4U8",
targetfile = "FER1.pdf",
urlaccessdate = "16 jun. 2024"
}