@InProceedings{MinervaBald:2012:CrFiDi,
               author = "Minerva, Felipe Ramon Silva and Baldan, Maur{\'{\i}}cio 
                         Ribeiro",
          affiliation = "{} and {Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE)}",
                title = "Crescimento de filmes de diamante micro e nanodopados com boro por 
                         HFCVD",
            booktitle = "Anais...",
                 year = "2012",
                pages = "124",
         organization = "Semin{\'a}rio de Inicia{\c{c}}{\~a}o Cient{\'{\i}}fica do 
                         INPE (SICINPE).",
            publisher = "INPE",
              address = "S{\~a}o Jos{\'e} dos Campos",
                 note = "{Bolsa PIBIC/INPE/CNPq}",
             keywords = "eletrodos de diamante, deposi{\c{c}}{\~a}o a vapor 
                         qu{\'{\i}}mico, propriedades qu{\'{\i}}micas e 
                         el{\'e}tricas.",
             abstract = "O estudo, iniciado em janeiro de 2012, tem como objetivo analisar 
                         as propriedades qu{\'{\i}}micas e el{\'e}tricas de eletrodos de 
                         diamante dopados com boro (BDD) produzidos por 
                         deposi{\c{c}}{\~a}o a vapor qu{\'{\i}}mico atrav{\'e}s de 
                         espectroscopia Raman e microscopia eletr{\^o}nica de varredura 
                         (MEV). A t{\'e}cnica de espectroscopia por espalhamento Raman tem 
                         sido amplamente utilizada na caracteriza{\c{c}}{\~a}o de 
                         materiais, como para o diamante-CVD, como na 
                         identifica{\c{c}}{\~a}o do diamante, do grafite e de outras 
                         fases presentes na amostra se destaca na identifica{\c{c}}{\~a}o 
                         das fases de carbono diamante e n{\~a}o diamante presentes nos 
                         filmes depositados, bem como para avaliar a qualidade destes 
                         filmes em rela{\c{c}}{\~a}o ao crescimento de diamante 
                         cristalino e tamb{\'e}m os diferentes n{\'{\i}}veis de dopagem 
                         alcan{\c{c}}ados. Por meio da t{\'e}cnica de MEV {\'e} 
                         poss{\'{\i}}vel caracterizar morfologicamente os filmes, 
                         identificando fissuras, delamina{\c{c}}{\~o}es e o comportamento 
                         estrutural dos filmes em rela{\c{c}}{\~a}o {\`a} sua dopagem. 
                         Em sua produ{\c{c}}{\~a}o, os eletrodos foram submetidos, 
                         durante aproximadamente 10 horas, a uma fonte gasosa cuja mistura 
                         consiste em 99% de metano e 1% de hidrog{\^e}nio sob a 
                         press{\~a}o de 40 Torr, variando-se a dopagem de 
                         solu{\c{c}}{\~o}es de boro entre 1000 a 30000 ppm num reator 
                         assistido por filamento quente (HFCVD). Foram utilizados cinco 
                         filamentos retos de tungst{\^e}nio com \φ = 125 \μm e 
                         2,5 cm de comprimento, aquecidos a aproximadamente 2200°C. Os 
                         filmes foram crescidos em substratos de sil{\'{\i}}cio a uma 
                         temperatura de 800ºC. Espera-se Encontrar condi{\c{c}}{\~o}es 
                         favor{\'a}veis {\`a} condutividade de energia el{\'e}trica em 
                         filmes de diamante dopados com boro.",
  conference-location = "S{\~a}o Jos{\'e} dos Campos",
      conference-year = "01 e 02 de agosto de 2012",
           copyholder = "SID/SCD",
             language = "pt",
                  ibi = "8JMKD3MGP7W/3CM2DM8",
                  url = "http://urlib.net/ibi/8JMKD3MGP7W/3CM2DM8",
           targetfile = "Minerva_crescimento.pdf",
        urlaccessdate = "16 jun. 2024"
}