@InProceedings{MedeirosTravBald:2007:EsCrFi,
               author = "Medeiros, Leonardo Iusuti de and Travelho, Jer{\^o}nimo dos 
                         Santos and Baldan, Maur{\'{\i}}cio Ribeiro",
          affiliation = "{} and {Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais} and {Instituto 
                         Nacional de Pesquisas Espaciais}",
                title = "Estudo do crescimento de filme de diamante atrav{\'e}s do ataque 
                         {\`a} grafite pelo hidrog{\^e}nio em um reator HFCVD",
            booktitle = "Anais...",
                 year = "2007",
               editor = "Becceneri, Jos{\'e} Carlos and Souza, Ronald Buss de and Pereira, 
                         Cl{\'a}udio Solano and Batista, Inez Staciarini and Souza, Luiz 
                         Carlos Gadelha de",
                pages = "72",
         organization = "Semin{\'a}rio de Inicia{\c{c}}{\~a}o Cient{\'{\i}}fica, 
                         (SICINPE-2007).",
            publisher = "INPE",
              address = "S{\~a}o Jos{\'e} dos Campos",
                 note = "{Bolsa PIBIC/INPE/CNPq}",
             abstract = "O trabalho tem como objetivo, promover o crescimento de filmes de 
                         diamante, sobre superf{\'{\i}}cies plana de sil{\'{\i}}cio 
                         (100), em um reator do tipo HFCVD (Hot Filament Chemical Vapor 
                         Deposition). O crescimento atrav{\'e}s da t{\'e}cnica CVD 
                         consiste, em gerar uma atmosfera de gases Hidrog{\^e}nio e Metano 
                         (H2 , CH4) dentro do reator. E fazer com que o fluxo dos gases 
                         passe por uma rede de filamentos quentes que se localiza {\'a} 
                         alguns mil{\'{\i}}metros acima do substrato denominado meio de 
                         ativa{\c{c}}{\~a}o, que neste estudo {\'e} o tungst{\^e}nio 
                         metal que possui ponto de fus{\~a}o acima dos 2300ºC, visto que 
                         neste experimento {\'e} utilizado temperatura pr{\'o}xima {\`a} 
                         2200ºC. Est{\'a} sendo realizada nas amostras deste experimento, 
                         a caracteriza{\c{c}}{\~a}o das superf{\'{\i}}cies, utilizando 
                         para isso a espectrometria RAMAN e o MEV (Microscopia 
                         Eletr{\^o}nica de Varredura), para observar as taxas de 
                         crescimento de diamante e a qualidade do filme de diamante.",
  conference-location = "S{\~a}o Jos{\'e} dos Campos",
      conference-year = "11 e 12 de julho",
           copyholder = "SID/SCD",
                label = "self-archiving-INPE-MCTIC-GOV-BR",
             language = "pt",
         organisation = "INPE",
                  ibi = "6qtX3pFwXQZGivnK2Y/Su8hq",
                  url = "http://urlib.net/ibi/6qtX3pFwXQZGivnK2Y/Su8hq",
           targetfile = "Medeiros_estudo.pdf",
        urlaccessdate = "16 jun. 2024"
}