@InProceedings{MinervaBald:2013:CrFiDi,
               author = "Minerva, Felipe Ramon Silva and Baldan, Maur{\'{\i}}cio 
                         Ribeiro",
          affiliation = "{} and {Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE)}",
                title = "Crescimento de filmes de diamante micro- e nano-dopados com boro 
                         por HFCVD",
            booktitle = "Anais...",
                 year = "2013",
         organization = "Semin{\'a}rio de Inicia{\c{c}}{\~a}o Cient{\'{\i}}fica do 
                         INPE (SICINPE).",
            publisher = "INPE",
              address = "S{\~a}o Jos{\'e} dos Campos",
                 note = "{Bolsa PIBIC/INPE/CNPq}",
             keywords = "filmes de diamante, dopagem, HFCVD.",
             abstract = "Em sua produ{\c{c}}{\~a}o, as amostras micro cristalinas foram 
                         submetidas, durante aproximadamente 16 horas, a uma fonte gasosa 
                         cuja mistura consiste em 98,5% de hidrog{\^e}nio e 1,5% de metano 
                         sob a press{\~a}o de 40 Torr, variando-se a dopagem de 
                         solu{\c{c}}{\~o}es de boro entre 2.000 e 20.000 ppm num reator 
                         assistido por filamento quente (HFCVD). Foram utilizados cinco 
                         filamentos retos de tungst{\^e}nio com \φ = 125 \μm e 
                         2,5 cm de comprimento, aquecidos a aproximadamente 2200°C. Os 
                         filmes foram crescidos em substratos de sil{\'{\i}}cio a uma 
                         temperatura de 800ºC. Para as amostras nano cristalinas o processo 
                         {\'e} similar, com exce{\c{c}}{\~a}o do tempo de 
                         dura{\c{c}}{\~a}o do crescimento (8 horas) e a 
                         concentra{\c{c}}{\~a}o da mistura (90% de hidrog{\^e}nio e 10% 
                         de metano. Para a caracteriza{\c{c}}{\~a}o das amostras, 
                         exploraram-se t{\'e}cnicas de an{\'a}lise estrutural e 
                         morfol{\'o}gica, tal como a Espectroscopia por Espalhamento Raman 
                         que tem sido amplamente utilizada na caracteriza{\c{c}}{\~a}o de 
                         materiais, como para o diamante-CVD (Chemical Vapor Deposition), 
                         como na identifica{\c{c}}{\~a}o do diamante, do grafite e de 
                         outras fases presentes na amostra se destaca na 
                         identifica{\c{c}}{\~a}o das fases de carbono diamante e n{\~a}o 
                         diamante presentes nos filmes depositados, bem como para avaliar a 
                         qualidade destes filmes em rela{\c{c}}{\~a}o ao crescimento de 
                         diamante cristalino e tamb{\'e}m os diferentes n{\'{\i}}veis de 
                         dopagem alcan{\c{c}}ados. Por meio da t{\'e}cnica de MEV 
                         (Microscopia Eletr{\^o}nica de Varredura) {\'e} 
                         poss{\'{\i}}vel caracterizar morfologicamente os filmes, 
                         identificando fissuras, delamina{\c{c}}{\~o}es e o comportamento 
                         estrutural dos filmes em rela{\c{c}}{\~a}o {\`a} sua dopagem. 
                         Analisando a Difra{\c{c}}{\~a}o de Raios-X das amostras pode-se 
                         obter informa{\c{c}}{\~o}es relacionadas com a estrutura 
                         cristalina e as propriedades do material. Por meio desta 
                         t{\'e}cnica {\'e} poss{\'{\i}}vel identificar as fases de um 
                         material policristalino e determinar as quantidades relativas 
                         destas fases pelas intensidades dos picos de difra{\c{c}}{\~a}o 
                         e assim determinar a orienta{\c{c}}{\~a}o de crescimento do 
                         plano cristalogr{\'a}fico.",
  conference-location = "S{\~a}o Jos{\'e} dos Campos",
      conference-year = "30 e 31 de julho de 2013",
           copyholder = "SID/SCD",
             language = "pt",
                  ibi = "8JMKD3MGP7W/3EP94JH",
                  url = "http://urlib.net/ibi/8JMKD3MGP7W/3EP94JH",
           targetfile = "Minerva_crescimento.pdf",
        urlaccessdate = "16 jun. 2024"
}