%0 Conference Proceedings
%4 sid.inpe.br/iris@1916/2005/10.04.17.01
%2 sid.inpe.br/iris@1916/2005/10.04.17.01.32
%F self-archiving-INPE-MCTIC-GOV-BR
%T Caracterização de tochas de plasma utilizada para crescimento de filmes superduros
%D 2005
%A Sá, Ubirajara Oliveira de,
%A Barreto, Patrícia Regina Pereira,
%@affiliation Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais, Laboratorio Associado de Plasma (INPE. LAP)
%@affiliation Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais, Laboratorio Associado de Plasma (INPE. LAP)
%B Seminário de Iniciação Científica do INPE (SICINPE).
%C São José dos Campos
%8 03-04 ago. 2005
%P 1 de 29
%1 Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais - INPE
%K PLASMA, Tochas de plasma, Vácuo, Filmes, PLASM, Plasma toches, Vacuum, Films.
%X Este trabalho iniciado em agosto de 2004 tem como objetivo montar um equipamento de tocha de plasma para sintetização de filmes super duros. Para isto foi necessário o estudo de aplicações a vácuo e propriedades de plasmas, tais como: temperatura de elétrons e íons, densidade, características elétricas, curva tensão em função de corrente e os métodos de caracterização por meio de sondas eletrostáticas. Durante o trabalho foi feita a montagem de um sistema de vácuo que estava desativado há vários anos e em seguida as bombas de vácuo foram acionadas para se obter a curva de variação da pressão em função do tempo para este sistema. Hoje o aparato experimental esta montado e pronto para operar. Para o próximo período serão realizadas caracterizações elétricas da tocha de plasma, bem como a determinação dos parâmetros de plasma, com isso será possível determinar a configuração ótima para os eletrodos, e projeto de um novo canhão.
%@language pt
%3 caracterização tochas.pdf
%O Bolsa PIBIC/INPE/CNPq