%0 Conference Proceedings
%4 sid.inpe.br/mtc-m21b/2017/08.09.16.04
%2 sid.inpe.br/mtc-m21b/2017/08.09.16.04.19
%T Otimização dos parâmetros de filmes de DLC (Diamond Like Carbon) função da polarização e largura do pulso em superfície Ti6Al4V
%D 2017
%A Silva, Bruna Henrique da,
%A Trava Airoldi, Vladimir Jesus,
%@affiliation Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE)
%@affiliation Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE)
%@electronicmailaddress bruna_12_78@hotmail.com
%@electronicmailaddress vladimir@las.inpe.br
%B Seminário de Iniciação Científica e Iniciação em Desenvolvimento Tecnológico e Inovação (SICINPE)
%C São José dos Campos, SP
%8 25-26 jul.
%X Com o avanço tecnológico e a busca por novos materiais os filmes de carbonotipo diamante (DLC) são recentemente de grande interesse para grupos científicos e tecnológicos, isso deve-se às suas propriedades, como alta adesão do filme aos substratos metálicos, baixo coeficiente de atrito, diferentes formas e obtenção em grandes escalas. Este trabalho consiste na obtenção de uma relação clara dos parâmetros de descarga e geração do plasma em função da alta tensão de polarização na deposição do filme de DLC em substratos de liga de Titânio (Ti6AI4V) muito empregada em aplicações espaciais e industriais. A deposição do filme foi realizada a partir da técnica de deposição química na fase vapor assistida por plasma (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition - PECVD), esse método trata-se de uma descarga em plasma de baixa pressão utilizando uma fonte chaveada pulsada para a geração do plasma e deposição dos filmes de DLC nos substratos. Uma mistura de hidrocarbonetos, como por exemplo, o metano (CH4), tolueno (C7H8) ou acetileno (C2H2) foram utilizados como precursores para a deposição de DLC com alta aderência sobre o substrato de Ti6Al4V. Foram efetuadas algumas técnicas de caracterização, como espectroscopia de espalhamento Raman, perfilometria e ensaios tribológicos que avaliaram a qualidade dos filmes e adesão com o substrato utilizado.
%@language pt
%3 Silva_otimizacao.pdf
%O Bolsa PIBIC/INPE/CNPq