%0 Conference Proceedings
%4 sid.inpe.br/mtc-m21b/2020/07.06.21.14.58
%2 sid.inpe.br/mtc-m21b/2020/07.06.21.14.59
%T Otimização dos parâmetros de deposição de filmes de DLC (Diamond-like Carbon) como função da polarização e largura do pulso em superfície de Ti6Al4V
%D 2014
%A Silva, Bruna Henrique da,
%A Airoldi, Vladimir Jesus Trava,
%@affiliation Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE)
%@affiliation Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE)
%@electronicmailaddress bruna_12_78@hotmail.com
%@electronicmailaddress vladimir@las.inpe.br
%B Seminário de Iniciação Científica do INPE (SICINPE).
%C São José dos Campos
%8 30-31 jul., 2014
%I INPE
%J São José dos Campos
%S Anais
%K filmes de DLC, Ti6Al4V.
%X O estudo de filmes de carbono-tipo diamante (DLC) é recentemente de grande interesse para grupos científicos e tecnológicos, isso deve-se às suas propriedades, como baixo coeficiente de atrito, inércia química, elevada dureza, possibilidade de deposição em substratos metálicos de diferentes formas, alta aderência a superfícies metálicas com diferentes formas e obtenção em grandes escalas. O foco de investigação deste trabalho é estabelecer de uma relação clara dos parâmetros de descarga e geração do plasma em função da alta tensão de polarização na obtenção do filme de DLC em substratos de liga de Titânio (Ti6Al4V) geralmente muito usada em aplicações espaciais e industriais. Para o alcance destes resultados, utilizou-se a técnica de deposição DC pulsada PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition), com isso foi possível fazer a modificação de superfície e ao mesmo tempo efetuar a deposição do filme de DLC, efetuando manobras de trocas in situ de gases e alteração de parâmetros de nucleação e de crescimento dos filmes de DLC. Para tanto, foram utilizadas algumas práticas laboratoriais, inicialmente com os processos de polimento de amostras e em seguida, os procedimentos e técnicas de nucleação e crescimento dos filmes de DLC e as respectivas interfaces. As amostras foram caracterizadas pelas técnicas de espectroscopia de espalhamento Raman, Perfilometia óptica teste de riscamento.
%@language pt
%3 Silva_otimizacao dos parametros.pdf
%O Bolsa PIBIC/INPE/CNPq