%0 Report
%4 sid.inpe.br/mtc-m21c/2020/06.26.19.22
%2 sid.inpe.br/mtc-m21c/2020/06.26.19.22.03
%T Otimização dos parâmetros de deposição de filmes de DLC (Diamond-like Carbon) como função da polarização e largura do pulso em superfície de Ti6Al4V
%D 2016
%9 RPQ
%P 15
%A Silva, Bruna Henrique da,
%A Trava-Airoldi, Vladimir Jesus,
%@affiliation
%@affiliation Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE)
%@electronicmailaddress bruna.hsilva@hotmail.com
%@electronicmailaddress vladimir@las.inpe.br
%I Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais
%C São José dos Campos
%K Deposição de filmes DLC.
%X O grande interesse na utilização de filmes de carbono tipo diamante (DLC) é justificado devido às suas notáveis propriedades mecânicas e tribológicas, como alta dureza, elevada resistência ao desgaste, inércia química, e baixíssimo coeficiente de atrito. Essa combinação de propriedades singulares confere ao revestimento aplicações nas mais diversas áreas. No entanto, o elevado nível de tensões compressivas, que se originam durante o crescimento do filme, dificulta a obtenção de alta aderência. O objetivo deste trabalho está centrado na obtenção de uma relação clara dos parâmetros de descarga e geração do plasma em função da variação dos valores de alta tensão de polarização e largura de pulso em substratos de liga de Titânio (Ti6Al4V), geralmente muito usada em aplicações espaciais e industriais. Para a obtenção dos resultados utilizou-se a técnica de deposição de filmes finos por deposição química a vapor assistida por plasma, PECVD (Plasma Chemical Enhanced Vapor Deposition), esta se destaca devido a algumas particularidades. Esse processo é limpo, seco, rápido, relativamente barato e de fácil execução. Com isso proporciona materiais uniformes, homogêneos, livres de defeitos e com propriedades fortemente dependentes dos parâmetros de deposição. Os filmes obtidos foram caracterizados pelas técnicas de Perfilometria óptica e ensaios tribológicos que avaliaram a qualidade e adesão ao substrato utilizado.
%@language pt
%3 Silva_otimizacao.pdf
%O Bolsa PIBIC/INPE/CNPq