@TechReport{SáBarr:2006:CaToPl,
author = "S{\'a}, Ubirajara Oliveira de and Barreto, Patr{\'{\i}}cia
Regina Pereira",
title = "Caracteriza{\c{c}}{\~a}o de tochas de plasma utilizada para
crescimento de filmes superduros",
institution = "Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais",
year = "2006",
type = "RPQ",
address = "S{\~a}o Jos{\'e} dos Campos",
note = "{Bolsa PIBIC/INPE/CNPq}",
keywords = "plasma, filmes.",
abstract = "Este trabalho iniciado em agosto de 2004 tem como objetivo o
projeto de um novo canh{\~a}o para a tocha de plasma utilizada na
sintetiza{\c{c}}{\~a}o de filmes super duros. Para isto {\'e}
necess{\'a}rio encontrar a regi{\~a}o {\'o}tima de
opera{\c{c}}{\~a}o do sistema, atrav{\'e}s da
caracteriza{\c{c}}{\~a}o do plasma, via sondas
eletrost{\'a}ticas, curvas de breakdown e
caracter{\'{\i}}sticas de descarga, para diferentes
configura{\c{c}}{\~o}es de eletrodos. Numa primeira fase do
trabalho, foi remontado o sistema de v{\'a}cuo que estava
desativado, com a inclus{\~a}o de uma bomba roots e medidores de
press{\~a}o deste a faixa de 2atm at{\'e} 10-3mbar. O sistema de
v{\'a}cuo foi caracterizado atrav{\'e}s das curvas de
press{\~a}o em fun{\c{c}}{\~a}o do tempo e apresentadas no
relat{\'o}rio anterior. Na segunda fase do trabalho, o sistema
el{\'e}trico da tocha de plasma foi modificado, com a
altera{\c{c}}{\~a}o do filtro RLC. Com o sistema de v{\'a}cuo
funcionando e o novo circuito el{\'e}trico instalado, iniciou-se
os disparos da tocha de plasma, considerando tr{\^e}s
configura{\c{c}}{\~o}es diferentes de catodos para um mesmo
anodo. A aquisi{\c{c}}{\~a}o de dados foi feita conectando o
experimento a um oscilosc{\'o}pio Textronics TDS3014B e este ao
microcomputador onde as informa{\c{c}}{\~o}es ficam armazenadas
para posteriormente serem analisadas. Foram coletados tr{\^e}s
canais no oscilosc{\'o}pio, um representa a queda de tens{\~a}o
entre os eletrodos, e os outros dois representam a queda de
tens{\~a}o em resist{\^e}ncias padr{\~a}o, que serem utilizados
na determina{\c{c}}{\~a}o da corrente da descarga. Esses dados
s{\~a}o importados diretamente em programas gr{\'a}ficos para a
constru{\c{c}}{\~a}o das curvas caracter{\'{\i}}sticas.
Utilizando um programa em Fortran, escrito para esta finalidade,
foi determinado a m{\'e}dia e o desvio padr{\~a}o dos dados
coletados para cada uma das configura{\c{c}}{\~o}es dos
eletrodos. Tamb{\'e}m, foram determinadas as curvas de Breakdonw
(ruptura da descarga) para os diferentes catodos e verificou-se
que tens{\~a}o m{\'{\i}}nima necess{\'a}ria para iniciar a
descarga com o catodo de 1/4 de tungst{\^e}nio {\'e} de 617,5 ±
18,6V, enquanto que para o catodo de 1/8 de tungst{\^e}nio esta
tens{\~a}o cai para 345,4 ± 17,2 V, e a curva
caracter{\'{\i}}stica da descarga (V × I - tens{\~a}o versus
corrente) nestes dois casos {\'e} na faixa de 50V × 20 70A. A
tens{\~a}o de ruptura para o catodo de 10mm de molibd{\^e}nio
{\'e} de 328,5 ± 81,1V e mesma condi{\c{c}}{\~a}o de V × I. A
partir destas curvas ser{\'a} poss{\'{\i}}vel escolher algumas
condi{\c{c}}{\~o}es para a determina{\c{c}}{\~a}o dos
par{\^a}metros de plasma. Numa terceira etapa do trabalho,
iniciaram-se os estudos de equil{\'{\i}}brio termodin{\^a}mico
da descarga, considerando a descarga de N2 e NF3, de interesse no
crescimento de filmes superduros. Neste estudo foi considerada a
rea{\c{c}}{\~a}o \αN2 + \βNF3 = Produtos, e as
fra{\c{c}}{\~o}es molares dos produtos foram determinadas
utilizando o programa STANAJN para diferentes valores de \α
e \β e condi{\c{c}}{\~o}es de press{\~a}o e temperaturas
t{\'{\i}}picas do experimento. Depois utilizando-se de um
c{\'o}digo cin{\'e}tico, ChemKin, foi determinada a
composi{\c{c}}{\~a}o da fase gasosa e comparada com os dados de
equil{\'{\i}}brio.",
affiliation = "{ETEP Faculdades} and {Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais
(INPE)}",
language = "pt",
pages = "24",
ibi = "8JMKD3MGP3W34R/42UPH4S",
url = "http://urlib.net/ibi/8JMKD3MGP3W34R/42UPH4S",
targetfile = "Ubirajara Oliveia de S.pdf",
urlaccessdate = "2024, May 19"
}