@TechReport{SáBarr:2005:CaToPl,
               author = "S{\'a}, Ubirajara Oliveira de and Barreto, Patr{\'{\i}}cia 
                         Regina Pereira",
                title = "Caracteriza{\c{c}}{\~a}o de tochas de plasma utilizada para 
                         crescimento de filmes superduros",
          institution = "Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais",
                 year = "2005",
                 type = "RPQ",
              address = "S{\~a}o Jos{\'e} dos Campos",
                 note = "{Bolsa PIBIC/INPE/CNPq}",
             keywords = "plasma, filmes.",
             abstract = "Este trabalho iniciado em agosto de 2004 tem como objetivo montar 
                         um equipamento de tocha de plasma para sintetiza{\c{c}}{\~a}o de 
                         filmes super duros. Para isto foi necess{\'a}rio o estudo de 
                         aplica{\c{c}}{\~o}es a v{\'a}cuo e propriedades de plasmas, 
                         tais como: temperatura de el{\'e}trons e {\'{\i}}ons, 
                         densidade, caracter{\'{\i}}sticas el{\'e}tricas, curva 
                         tens{\~a}o em fun{\c{c}}{\~a}o de corrente e os m{\'e}todos de 
                         caracteriza{\c{c}}{\~a}o por meio de sondas eletrost{\'a}ticas. 
                         Durante o trabalho foi feita a montagem de um sistema de 
                         v{\'a}cuo que estava desativado h{\'a} v{\'a}rios anos e em 
                         seguida as bombas de v{\'a}cuo foram acionadas para se obter a 
                         curva de varia{\c{c}}{\~a}o da press{\~a}o em 
                         fun{\c{c}}{\~a}o do tempo para este sistema. Hoje o aparato 
                         experimental esta montado e pronto para operar. Para o 
                         pr{\'o}ximo per{\'{\i}}odo ser{\~a}o realizadas 
                         caracteriza{\c{c}}{\~o}es el{\'e}tricas da tocha de plasma, bem 
                         como a determina{\c{c}}{\~a}o dos par{\^a}metros de plasma, com 
                         isso ser{\'a} poss{\'{\i}}vel determinar a 
                         configura{\c{c}}{\~a}o {\'o}tima para os eletrodos, e projeto 
                         de um novo canh{\~a}o.",
          affiliation = "{ETEP Faculdades} and {Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais 
                         (INPE)}",
             language = "pt",
                pages = "29",
                  ibi = "8JMKD3MGP3W34R/42USKAH",
                  url = "http://urlib.net/ibi/8JMKD3MGP3W34R/42USKAH",
           targetfile = "caracteriza{\c{c}}{\~a}o tochas.pdf",
        urlaccessdate = "2024, May 19"
}