%0 Report
%4 sid.inpe.br/mtc-m21c/2020/08.02.14.31
%2 sid.inpe.br/mtc-m21c/2020/08.02.14.31.50
%T Caracterização de tochas de plasma utilizada para crescimento de filmes superduros
%D 2005
%9 RPQ
%P 29
%A Sá, Ubirajara Oliveira de,
%A Barreto, Patrícia Regina Pereira,
%@affiliation ETEP Faculdades
%@affiliation Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE)
%@electronicmailaddress ubirajaradesa@yahoo.com.br
%@electronicmailaddress patricia@plasma.inpe.br
%I Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais
%C São José dos Campos
%K plasma, filmes.
%X Este trabalho iniciado em agosto de 2004 tem como objetivo montar um equipamento de tocha de plasma para sintetização de filmes super duros. Para isto foi necessário o estudo de aplicações a vácuo e propriedades de plasmas, tais como: temperatura de elétrons e íons, densidade, características elétricas, curva tensão em função de corrente e os métodos de caracterização por meio de sondas eletrostáticas. Durante o trabalho foi feita a montagem de um sistema de vácuo que estava desativado há vários anos e em seguida as bombas de vácuo foram acionadas para se obter a curva de variação da pressão em função do tempo para este sistema. Hoje o aparato experimental esta montado e pronto para operar. Para o próximo período serão realizadas caracterizações elétricas da tocha de plasma, bem como a determinação dos parâmetros de plasma, com isso será possível determinar a configuração ótima para os eletrodos, e projeto de um novo canhão.
%@language pt
%3 caracterização tochas.pdf
%O Bolsa PIBIC/INPE/CNPq