%0 Report
%4 sid.inpe.br/mtc-m21c/2020/08.07.13.25
%2 sid.inpe.br/mtc-m21c/2020/08.07.13.25.20
%T Otimização dos parâmetros de deposição de filmes de DLC (Diamond-like Carbon) como função da polarização e largura do pulso em superfície de Ti6Al4V
%D 2015
%9 RPQ
%P 15
%A Silva, Bruna Henrique da,
%A Trava-Airoldi, Vladimir Jesus,
%@affiliation
%@affiliation Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE)
%@electronicmailaddress bruna.hsilva@hotmail.com
%@electronicmailaddress vladimir@las.inpe.br
%I Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais
%C São José dos Campos
%K Deposição de filmes DLC.
%X Com o avanço tecnológico e a busca por novos materiais os filmes de carbono-tipo diamante (DLC) são recentemente de grande interesse para grupos científicos e tecnológicos, isso deve-se às suas propriedades, como alta adesão do filme aos substratos metálicos, baixo coeficiente de atrito, diferentes formas e obtenção em grandes escalas. O objetivo deste trabalho está centrado na obtenção de uma relação clara dos parâmetros de descarga e geração do plasma em função da alta tensão de polarização na obtenção do filme de DLC em substratos de liga de Titânio (Ti6Al4V) geralmente muito usada em aplicações espaciais e industriais. Para a obtenção destes resultados, utilizou-se a técnica de deposição DC pulsada PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition), esta possibilitou fazer a modificação da superfície e ao mesmo tempo efetuar a deposição do filme de DLC, efetuando manobras de trocas in situ de gases e alteração de parâmetros de nucleação e de crescimento dos filmes de DLC. Para isso, foram utilizadas algumas práticas laboratoriais, inicialmente com os processos de polimento de amostras e em seguida, os procedimentos e técnicas de nucleação e crescimento dos filmes de DLC e as respectivas interfaces. As amostras foram caracterizadas pelas técnicas de Perfilometria óptica e Ensaio de Aderência.
%@language pt
%3 Bruna Henrique da Silva.pdf
%O Bolsa PIBIC/INPE/CNPq