| 1. Identificação | |
| Tipo de Referência | Artigo em Evento (Conference Proceedings) |
| Site | mtc-m16d.sid.inpe.br |
| Identificador | 8JMKD3MGPDW34R/3S2EMM5 |
| Repositório | sid.inpe.br/mtc-m16d/2018/10.11.17.47 |
| Última Atualização | 2018:10.11.17.47.12 (UTC) banon |
| Repositório de Metadados | sid.inpe.br/mtc-m16d/2018/10.11.17.47.12 |
| Última Atualização dos Metadados | 2019:01.07.15.24.05 (UTC) administrator |
| ISSN | 2177-3114 |
| Chave de Citação | SierraCoraTrav:2018:DeFiDi |
| Título | Deposição de filmes de diamante policristalino CVD usando MPACVD  |
| Formato | On-line. |
| Ano | 2018 |
| Data de Acesso | 30 abr. 2024 |
| Tipo Secundário | PRE CN |
| Número de Arquivos | 1 |
| Tamanho | 576 KiB |
| 2. Contextualização | |
| Autor | 1 Sierra, Gomez Javier 2 Corat, Evaldo José 3 Trava-Airoldi, Vladimir Jesus |
| Grupo | 1 CMS-ETES-SESPG-INPE-MCTIC-GOV-BR |
| Endereço de e-Mail do Autor | 1 javiersierra25@gmail.com 2 evaldo.corat@inpe.br 3 vladimir.airoldi@inpe.br |
| Editor | Santos, Walter Abrahão dos Rodrigues, Italo Pinto Lima, Jeanne Samara dos Santos Rodrigues, Aline Castilho Mateus, Dairo Antonio Cuellar Moreira, Herbi Júnior Pereira Barbosa, ivan Márcio Tenório, Plínio Ivo Gama Toledo, Rafael Cardoso Pereira, Yuri Matheus Dias |
| Nome do Evento | Workshop em Engenharia e Tecnologia Espaciais, 9 (WETE) |
| Localização do Evento | São José dos Campos |
| Data | 15-16 ago. 2018 |
| Editora (Publisher) | Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE) |
| Cidade da Editora | São José dos Campos |
| Título do Livro | Anais |
| Organização | Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE) |
| Histórico (UTC) | 2018-10-11 17:47:12 :: simone -> administrator :: 2018-11-30 13:57:07 :: administrator -> banon :: 2018 2019-01-07 15:09:44 :: banon -> administrator :: 2018 2019-01-07 15:24:05 :: administrator -> banon :: 2018 |
| 3. Conteúdo e estrutura | |
| É a matriz ou uma cópia? | é a matriz |
| Estágio do Conteúdo | concluido |
| Transferível | 1 |
| Palavras-Chave | Diamante CVD MPACVD Filmes finos e espessos Plasma |
| Resumo | O propósito deste trabalho foi o de levantar alguns parâmetros importantes para estudos de crescimento de diamante, grau monocristalino, para aplicações espaciais, nas áreas de microeletrônica e óptica. Filmes de diamante policristalino foram depositados pela técnica MPACVD (do inglês Microwave Plasma Assisted Chemical Vapor Deposition) em substratos de silício e nióbio utilizando dois arranjos de porta-amostra. Uma fonte de potência de 6kW e um gerador de microondas de 2.45 GHz foram usados para ativar uma mistura gasosa de hidrogênio e metano na proporção 2% de CH4/H2. Usou-se potência de entrada entre 2.4 3.6 kW, temperatura de deposição 815 °C-1128 °C, 211 Torr de pressão durante 7h de crescimento. O controle da temperatura é feito com um pirômetro ótico de alta resolução de duas cores no faixa de 390 °C a 1300 °C. Os filmes obtidos foram caracterizados por microscopia eletrônica de varredura (FEG-MEV) e espectroscopia Raman. |
| Área | ETE |
| Tipo | Ciência e Tecnologia de Materiais e Controle |
| Arranjo | urlib.net > BDMCI > Fonds > Produção pgr ATUAIS > CMS > Deposição de filmes... |
| Conteúdo da Pasta doc | acessar |
| Conteúdo da Pasta source | não têm arquivos |
| Conteúdo da Pasta agreement | não têm arquivos |
| 4. Condições de acesso e uso | |
| URL dos dados | http://urlib.net/ibi/8JMKD3MGPDW34R/3S2EMM5 |
| URL dos dados zipados | http://urlib.net/zip/8JMKD3MGPDW34R/3S2EMM5 |
| Idioma | pt |
| Arquivo Alvo | 30 - [Artigo] JAVIER SIERRA GÓMEZ.pdf |
| Grupo de Usuários | simone |
| Visibilidade | shown |
| Licença de Direitos Autorais | urlib.net/www/2012/11.12.15.19 |
| Detentor dos Direitos | originalauthor yes |
| Permissão de Leitura | allow from all |
| Permissão de Atualização | não transferida |
| 5. Fontes relacionadas | |
| Repositório Espelho | urlib.net/www/2011/03.29.20.55 |
| Unidades Imediatamente Superiores | 8JMKD3MGP3W34P/3SAHFJP 8JMKD3MGPCW/3F358GL |
| Lista de Itens Citando | sid.inpe.br/mtc-m21b/2018/11.30.13.56 1 sid.inpe.br/bibdigital/2013/10.14.21.39 1 |
| Acervo Hospedeiro | sid.inpe.br/mtc-m19@80/2009/08.21.17.02 |
| 6. Notas | |
| Campos Vazios | affiliation archivingpolicy archivist callnumber contenttype copyholder creatorhistory descriptionlevel dissemination doi e-mailaddress edition holdercode isbn label lineage mark nextedition notes numberofvolumes orcid pages parameterlist parentrepositories previousedition previouslowerunit progress project readergroup resumeid schedulinginformation secondarydate secondarykey secondarymark serieseditor session shorttitle sponsor subject tertiarymark tertiarytype url versiontype volume |
| 7. Controle da descrição | |
| e-Mail (login) | banon |
| atualizar | |