@InProceedings{BarbosaAiro:2012:OtFoDe,
author = "Barbosa, Giovanna de Souza Giuliani and Airoldi, Vladimir Jesus
Trava",
affiliation = "{} and {Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE)}",
title = "Otimiza{\c{c}}{\~a}o de fonte de descarga DC pulsada para
estudos de nuclea{\c{c}}{\~a}o de filmes de DLC",
booktitle = "Anais...",
year = "2012",
pages = "124",
organization = "Semin{\'a}rio de Inicia{\c{c}}{\~a}o Cient{\'{\i}}fica do
INPE (SICINPE).",
publisher = "INPE",
address = "S{\~a}o Jos{\'e} dos Campos",
note = "{Bolsa PIBIC/INPE/CNPq}",
keywords = "filme de DLC, plasma, descarga el{\'e}trica.",
abstract = "A modifica{\c{c}}{\~a}o de superf{\'{\i}}cie de materiais,
especialmente os met{\'a}licos, requer estudos aprofundados de
par{\^a}metros de obten{\c{c}}{\~a}o desta
modifica{\c{c}}{\~a}o associada ao processo de
deposi{\c{c}}{\~a}o do filme de DLC propriamente dito. Para
tanto, al{\'e}m de compreender bem os mecanismos envolvidos
nestes processos, os quais envolvem descargas el{\'e}tricas, ou
seja, a forma{\c{c}}{\~a}o de plasmas com os gases precursores
se faz necess{\'a}rio, tamb{\'e}m, um bom entendimento dos
processos e par{\^a}metros envolvidos em modifica{\c{c}}{\~a}o
de superf{\'{\i}}cie e em crescimento de filmes de DLC. O plasma
{\'e} um dos estados f{\'{\i}}sicos da mat{\'e}ria, similar ao
g{\'a}s, no qual certa por{\c{c}}{\~a}o das part{\'{\i}}culas
est{\'a} ionizada; {\'e} um g{\'a}s formado por {\'{\i}}ons
positivamente carregados e el{\'e}trons. Em cada {\'a}tomo de um
g{\'a}s neutro, o numero de el{\'e}trons que orbitam ao redor do
n{\'u}cleo {\'e} igual ao n{\'u}mero de pr{\'o}tons que se
encontram no n{\'u}cleo. Portanto a perda de um ou mais
el{\'e}trons causa a ioniza{\c{c}}{\~a}o destes {\'a}tomos.
Dentro de uma escala de volume macrosc{\'o}pica, o plasma {\'e}
semineutro, ou seja, o n{\'u}mero de cargas negativas {\'e}
igual ao n{\'u}mero de cargas positivas. A ioniza{\c{c}}{\~a}o
ocorre e o estado ionizado se sustenta porque o g{\'a}s
encontra-se muito quente, pois as colis{\~o}es entre os
{\'a}tomos s{\~a}o suficientemente intensas para que os
el{\'e}trons sejam arrancados dos mesmos. {\'E} muito rarefeito,
de maneira que os el{\'e}trons, uma vez removidos, dificilmente
encontrar{\~a}o um {\'{\i}}on com o qual possam se recombinar.
Para que o plasma ocorra, {\'e} necess{\'a}rio que o g{\'a}s
esteja sujeito a fontes externas de energia, tais como campos
el{\'e}tricos intensos ou radia{\c{c}}{\~o}es capazes de
arrancar os el{\'e}trons dos {\'a}tomos.",
conference-location = "S{\~a}o Jos{\'e} dos Campos",
conference-year = "01 e 02 de agosto de 2012",
copyholder = "SID/SCD",
language = "pt",
ibi = "8JMKD3MGP7W/3CMECRH",
url = "http://urlib.net/ibi/8JMKD3MGP7W/3CMECRH",
targetfile = "Barbosa_otimizacao.pdf",
urlaccessdate = "11 maio 2024"
}