@InProceedings{SilvaBald:2013:CaÓpMo,
               author = "Silva, Belchior Elton Lima da and Baldan, Mauricio Ribeiro",
          affiliation = "{Universidade Federal de S{\~a}o Paulo (UNIFESP)} and {Instituto 
                         Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE)}",
                title = "Caracter{\'{\i}}sticas {\'o}pticas e morfol{\'o}gicas do 
                         Sil{\'{\i}}cio poroso produzido por processo de 
                         anodiza{\c{c}}{\~a}o em solu{\c{c}}{\~o}es HF-Acetonitrila e 
                         HF-Etanol",
            booktitle = "Anais...",
                 year = "2013",
         organization = "Semin{\'a}rio de Inicia{\c{c}}{\~a}o Cient{\'{\i}}fica do 
                         INPE (SICINPE).",
            publisher = "INPE",
              address = "S{\~a}o Jos{\'e} dos Campos",
                 note = "{Bolsa PIBIC/INPE/CNPq}",
             keywords = "Sil{\'{\i}}cio poroso (PS), anodiza{\c{c}}{\~a}o, 
                         sil{\'{\i}}cio monocristalino (Si).",
             abstract = "Esse trabalho tem como objetivo sintetizar amostras de 
                         Sil{\'{\i}}cio Poroso (PS) a partir da anodiza{\c{c}}{\~a}o do 
                         sil{\'{\i}}cio monocristalino (Si) e realizar um estudo 
                         sistem{\'a}tico da a{\c{c}}{\~a}o de alguns par{\^a}metros 
                         experimentais sobre as caracter{\'{\i}}sticas {\'o}pticas e 
                         morfol{\'o}gicas do PS. Amostras de PS podem ser obtidas pelo 
                         processo de anodiza{\c{c}}{\~a}o em l{\^a}minas de 
                         Sil{\'{\i}}cio, todavia, suas caracter{\'{\i}}sticas finais 
                         podem ser influenciadas por diversos par{\^a}metros durante o 
                         processo de anodiza{\c{c}}{\~a}o, dentre eles encontra-se a 
                         densidade de corrente e o tempo de anodiza{\c{c}}{\~a}o. Neste 
                         trabalho foram sintetizadas amostras sob diferentes valores de 
                         tempo (5, 10, 15, 20 e 30 min.) e de corrente (5, 10, 15, 20, 25, 
                         30, 35 mA), mantendo-se os outros par{\^a}metros experimentais 
                         constantes durante o ataque (tipo e resistividade da amostra de 
                         Si, luminosidade sob o substrato e concentra{\c{c}}{\~a}o do 
                         eletr{\'o}lito). Na anodiza{\c{c}}{\~a}o eletroqu{\'{\i}}mica 
                         o substrato de Si {\'e} o eletrodo de trabalho, que {\'e} 
                         polarizado anodicamente. Neste caso utilizou-se um contra eletrodo 
                         de Platina, pois essa {\'e} inerte ao HF. Esses eletrodos foram 
                         inseridos em uma cuba eletrol{\'{\i}}tica tamb{\'e}m inerte ao 
                         eletr{\'o}lito. As amostras foram obtidas a partir de 
                         l{\^a}minas de Si tipo-n, com orienta{\c{c}}{\~a}o 
                         cristalogr{\'a}fica <100> e resistividade 1-20 \Ω.cm. As 
                         caracter{\'{\i}}sticas das amostras foram analisadas a partir da 
                         Microscopia Eletr{\^o}nica de Varredura (morfologia superficial) 
                         e da perfilometria {\'o}ptica (rugosidade superficial das 
                         amostras, profundidade dos poros e {\'a}rea superficial total). 
                         Os resultados indicaram que o tempo de anodiza{\c{c}}{\~a}o 
                         afeta significativamente as caracter{\'{\i}}sticas finais do 
                         poro, provocando uma mudan{\c{c}}a em sua morfologia superficial 
                         em fun{\c{c}}{\~a}o do tempo de anodiza{\c{c}}{\~a}o. Amostras 
                         submetidas a elevados tempos de anodiza{\c{c}}{\~a}o 
                         apresentaram um ataque mais efetivo, apresentando poros mais 
                         homog{\^e}neos, com maior profundidade e em maior n{\'u}mero. De 
                         maneira semelhante, a densidade de corrente tamb{\'e}m afetou de 
                         forma acentuada as caracter{\'{\i}}sticas do PS, podendo-se 
                         observar uma elevada rugosidade m{\'e}dia e poros de menor 
                         dimens{\~a}o em fun{\c{c}}{\~a}o do aumento da densidade de 
                         corrente.",
  conference-location = "S{\~a}o Jos{\'e} dos Campos",
      conference-year = "30 e 31 de julho de 2013",
           copyholder = "SID/SCD",
                label = "self-archiving-INPE-MCTIC-GOV-BR",
             language = "pt",
                  ibi = "8JMKD3MGP7W/3ENP5KL",
                  url = "http://urlib.net/ibi/8JMKD3MGP7W/3ENP5KL",
           targetfile = "Silva_caracteristicas.pdf",
        urlaccessdate = "14 maio 2024"
}