@InProceedings{SilvaBald:2014:CaÓpMo,
               author = "Silva, Belchior Elton Lima da and Baldan, Maur{\'{\i}}cio 
                         Ribeiro",
          affiliation = "UNIFESP and {Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE)}",
                title = "Caracter{\'{\i}}sticas {\'o}pticas e morfol{\'o}gicas do 
                         sil{\'{\i}}cio poroso produzido por processo de 
                         anodiza{\c{c}}{\~a}o em solu{\c{c}}{\~o}es HF-Acetonitrila e 
                         HF-Etanol",
            booktitle = "Anais...",
                 year = "2014",
         organization = "Semin{\'a}rio de Inicia{\c{c}}{\~a}o Cient{\'{\i}}fica do 
                         INPE (SICINPE).",
            publisher = "INPE",
              address = "S{\~a}o Jos{\'e} dos Campos",
                 note = "{Bolsa PIBIC/INPE/CNPq}",
             keywords = "sil{\'{\i}}cio poroso, anodiza{\c{c}}{\~a}o.",
             abstract = "Este trabalho tem como objetivo estudar o efeito de alguns 
                         par{\^a}metros experimentais (Tempo de ataque, densidade de 
                         corrente e composi{\c{c}}{\~a}o do eletr{\'o}lito) nas 
                         caracter{\'{\i}}sticas morfol{\'o}gicas do sil{\'{\i}}cio 
                         poroso. Amostras de sil{\'{\i}}cio poroso podem ser produzidas a 
                         partir de diversas t{\'e}cnicas, as amostras contidas nesse 
                         relat{\'o}rio foram obtidas a partir do processo de 
                         anodiza{\c{c}}{\~a}o eletroqu{\'{\i}}mica do sil{\'{\i}}cio 
                         monocristalino, esse m{\'e}todo possibilita a 
                         obten{\c{c}}{\~a}o de poros com diferentes morfologias, 
                         di{\^a}metros e profundidades. Na anodiza{\c{c}}{\~a}o 
                         eletroqu{\'{\i}}mica o substrato de sil{\'{\i}}cio {\'e} o 
                         eletrodo de trabalho, que {\'e} polarizado anodicamente. Neste 
                         caso utilizou-se um contra eletrodo de Platina, pois essa {\'e} 
                         inerte ao HF. Esses eletrodos foram inseridos em uma cuba 
                         eletrol{\'{\i}}tica tamb{\'e}m inerte ao eletr{\'o}lito. As 
                         amostras foram obtidas a partir de l{\^a}minas de 
                         sil{\'{\i}}cio tipo-n, com orienta{\c{c}}{\~a}o 
                         cristalogr{\'a}fica <100> e resistividade 1-20 \Ω.cm. Na 
                         primeira etapa do trabalho avaliou-se o efeito do tempo de ataque 
                         nas caracter{\'{\i}}sticas do PS. Para isso, variou-se a 
                         dura{\c{c}}{\~a}o do processo de anodiza{\c{c}}{\~a}o (5, 10, 
                         15, 20 e 30 min.) mantendo-se os outros par{\^a}metros 
                         constantes. Os resultados demonstraram que, em ataques a partir de 
                         20 minutos, as camadas porosas apresentam maior homogeneidade. Na 
                         segunda etapa da pesquisa o par{\^a}metro estudado foi a 
                         densidade de corrente utilizada durante a anodiza{\c{c}}{\~a}o. 
                         Para avaliar o efeito desse par{\^a}metro nas 
                         caracter{\'{\i}}sticas do PS, foram realizados ataques de 20 
                         minutos, onde se variou a corrente aplicada nas amostras (5, 10, 
                         15, 20, 25, 30, 35 mA), mantendo os outros par{\^a}metros 
                         experimentais constantes. Os resultados obtidos indicam que a 
                         condi{\c{c}}{\~a}o {\'o}tima foi atingida na amostra de 30 mA. 
                         Por fim, estudou-se o efeito da composi{\c{c}}{\~a}o do 
                         eletr{\'o}lito no poro. Nessa terceira etapa foram realizados 
                         ataques de 20 minutos, utilizando-se uma corrente el{\'e}trica 
                         igual a 30 mA. Variou-se a molaridade de HF na solu{\c{c}}{\~a}o 
                         eletrol{\'{\i}}tica, mantendo os outros par{\^a}metros 
                         experimentais constantes. As caracter{\'{\i}}sticas das amostras 
                         foram analisadas a partir da Microscopia Eletr{\^o}nica de 
                         Varredura (morfologia superficial, di{\^a}metro e profundidade 
                         dos poros) e da perfilometria {\'o}ptica (rugosidade superficial 
                         das amostras, profundidade dos poros e {\'a}rea superficial 
                         total).",
  conference-location = "S{\~a}o Jos{\'e} dos Campos",
      conference-year = "30-31 jul., 2014",
             language = "pt",
                  ibi = "8JMKD3MGP5W34M/3GTE43Q",
                  url = "http://urlib.net/ibi/8JMKD3MGP5W34M/3GTE43Q",
           targetfile = "Silva_caracteristicas.pdf",
        urlaccessdate = "26 abr. 2024"
}