@InProceedings{SilvaAiro:2014:OtPaDe,
               author = "Silva, Bruna Henrique da and Airoldi, Vladimir Jesus Trava",
          affiliation = "{Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE)} and {Instituto 
                         Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE)}",
                title = "Otimiza{\c{c}}{\~a}o dos par{\^a}metros de 
                         deposi{\c{c}}{\~a}o de filmes de DLC (Diamond-like Carbon) como 
                         fun{\c{c}}{\~a}o da polariza{\c{c}}{\~a}o e largura do pulso 
                         em superf{\'{\i}}cie de Ti6Al4V",
            booktitle = "Anais...",
                 year = "2014",
         organization = "Semin{\'a}rio de Inicia{\c{c}}{\~a}o Cient{\'{\i}}fica do 
                         INPE (SICINPE).",
            publisher = "INPE",
              address = "S{\~a}o Jos{\'e} dos Campos",
                 note = "{Bolsa PIBIC/INPE/CNPq}",
             keywords = "filmes de DLC, Ti6Al4V.",
             abstract = "O estudo de filmes de carbono-tipo diamante (DLC) {\'e} 
                         recentemente de grande interesse para grupos cient{\'{\i}}ficos 
                         e tecnol{\'o}gicos, isso deve-se {\`a}s suas propriedades, como 
                         baixo coeficiente de atrito, in{\'e}rcia qu{\'{\i}}mica, 
                         elevada dureza, possibilidade de deposi{\c{c}}{\~a}o em 
                         substratos met{\'a}licos de diferentes formas, alta 
                         ader{\^e}ncia a superf{\'{\i}}cies met{\'a}licas com 
                         diferentes formas e obten{\c{c}}{\~a}o em grandes escalas. O 
                         foco de investiga{\c{c}}{\~a}o deste trabalho {\'e} estabelecer 
                         de uma rela{\c{c}}{\~a}o clara dos par{\^a}metros de descarga e 
                         gera{\c{c}}{\~a}o do plasma em fun{\c{c}}{\~a}o da alta 
                         tens{\~a}o de polariza{\c{c}}{\~a}o na obten{\c{c}}{\~a}o do 
                         filme de DLC em substratos de liga de Tit{\^a}nio (Ti6Al4V) 
                         geralmente muito usada em aplica{\c{c}}{\~o}es espaciais e 
                         industriais. Para o alcance destes resultados, utilizou-se a 
                         t{\'e}cnica de deposi{\c{c}}{\~a}o DC pulsada PECVD (Plasma 
                         Enhanced Chemical Vapor Deposition), com isso foi 
                         poss{\'{\i}}vel fazer a modifica{\c{c}}{\~a}o de 
                         superf{\'{\i}}cie e ao mesmo tempo efetuar a 
                         deposi{\c{c}}{\~a}o do filme de DLC, efetuando manobras de 
                         trocas in situ de gases e altera{\c{c}}{\~a}o de par{\^a}metros 
                         de nuclea{\c{c}}{\~a}o e de crescimento dos filmes de DLC. Para 
                         tanto, foram utilizadas algumas pr{\'a}ticas laboratoriais, 
                         inicialmente com os processos de polimento de amostras e em 
                         seguida, os procedimentos e t{\'e}cnicas de nuclea{\c{c}}{\~a}o 
                         e crescimento dos filmes de DLC e as respectivas interfaces. As 
                         amostras foram caracterizadas pelas t{\'e}cnicas de 
                         espectroscopia de espalhamento Raman, Perfilometia {\'o}ptica 
                         teste de riscamento.",
  conference-location = "S{\~a}o Jos{\'e} dos Campos",
      conference-year = "30-31 jul., 2014",
             language = "pt",
                  ibi = "8JMKD3MGP5W34M/3GTJEJ2",
                  url = "http://urlib.net/ibi/8JMKD3MGP5W34M/3GTJEJ2",
           targetfile = "Bruna Henrique da Silva.pdf",
        urlaccessdate = "26 abr. 2024"
}