@InProceedings{AraújoUedaMell:2014:OtSiIm,
author = "Ara{\'u}jo, Michel Felipe Lima de and Ueda, M{\'a}rio and Mello,
Carina Barros",
affiliation = "{Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE)} and {Instituto
Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE)} and {Instituto Nacional de
Pesquisas Espaciais (INPE)}",
title = "Otimiza{\c{c}}{\~a}o de um sistema de implanta{\c{c}}{\~a}o
i{\^o}nica por plasma de grande volume e alta pot{\^e}ncia",
year = "2014",
editor = "WETE, Comiss{\~a}o Organizadora do",
organization = "Workshop em Engenharia e Tecnologia Espaciais, 2014. (WETE).",
publisher = "Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE)",
address = "S{\~a}o Jos{\'e} dos Campos",
keywords = "Otimiza{\c{c}}{\~a}o, sistema IIIP, plasma, c{\^a}mara de
grande volume.",
abstract = "Este trabalho consiste no estudo da otimiza{\c{c}}{\~a}o de um
sistema de implanta{\c{c}}{\~a}o i{\^o}nica por plasma de
grande volume e alta pot{\^e}ncia. A c{\^a}mara de v{\'a}cuo
utilizada possui um volume elevado (600 litros). O que por sua
vez, facilita o tratamento de pe{\c{c}}as maiores comumente
utilizadas na ind{\'u}stria, e at{\'e} mesmo, como {\'e} no
caso deste dispositivo, no tratamento de pe{\c{c}}as que formam
os componentes espaciais de um sat{\'e}lite. A
otimiza{\c{c}}{\~a}o foi realizada com os sucess{\'{\i}}veis
ajustes dos seguintes par{\^a}metros de processamento 3IP, tais
como: largura de pulso, frequ{\^e}ncia, press{\~a}o de trabalho
e corrente no prim{\'a}rio do pulsador de alta tens{\~a}o.",
conference-location = "S{\~a}o Jos{\'e} dos Campos",
conference-year = "12–14 ago. 2014",
label = "self-archiving-INPE-MCTI-GOV-BR",
ibi = "8JMKD3MGP5W34M/3HEA525",
url = "http://urlib.net/ibi/8JMKD3MGP5W34M/3HEA525",
targetfile = "58_[ARTIGO][CMS]_michelFelipe.pdf",
urlaccessdate = "24 abr. 2024"
}