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VAHEDI, V.; VERBONCOEUR, J. P.; ALVES, M. V.; BIRDSALL, C. K. Plasma processing via computer simulation. In: WORKSHOP ON HIGH-DENSITY PLASMA TECHNIQUES AND PROCESSES FOR INTEGRATED CIRCUIT FABRICATION., , Burlingame, CA. (campo ausente ou vazio: 'booktitle') 1990.
Como Fazer a Citação no Texto (por autor/ano)
... como proposto por Vahedi et al. (1990).
... pode ser encontrada na literatura (VAHEDI et al., 1990).