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VAHEDI, V.; LIEBERMAN, M. A.; ALVES, M. V.; VERBONCOUER, J. P.; BIRDSALL, C. K. A collisional model for plasma immersion ion implantation. In: IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON PLASMA SCIENCE., , Oakland, CA. (campo ausente ou vazio: 'booktitle') 1990. Disponível em: <http://urlib.net/ibi/8JMKD3MGP3W34P/3JA6MES>.
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... como proposto por Vahedi et al. (1990).
... pode ser encontrada na literatura (VAHEDI et al., 1990).