%0 Conference Proceedings
%4 sid.inpe.br/mtc-m21b/2017/02.13.16.00
%2 sid.inpe.br/mtc-m21b/2017/02.13.16.00.40
%F self-archiving-INPE-MCTI-GOV-BR
%T High voltage pulser for plasma ion immersion implantation applications
%D 1997
%A Spassov, V.,
%A Barroso de Castro, Joaquim José,
%A Ueda, Mário,
%@affiliation Sofia University
%@affiliation Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE)
%@affiliation Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE)
%@electronicmailaddress
%@electronicmailaddress
%@electronicmailaddress mario.ueda@inpe.br
%B Congresso Brasileiro de Aplicações de Vácuo na Indústria e na Ciência
%C Petrópolis, RJ
%8 21-24 jul.
%S Resumos
%@language en
%3 Ref-048.pdf