Como Referenciar este Documento no Padrão INPE (Formato BibINPE)
ARAI, H. T.; UEDA, M. Produção de plasma por microondas (2.45GHz) para aplicação em implantação iônica. São José dos Campos: INPE, 1994. 33 p. IBI: <8JMKD3MGP3W34P/3PSCDF2>. (INPE-5551-PRP/181). Disponível em: <http://urlib.net/ibi/8JMKD3MGP3W34P/3PSCDF2>.
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... como proposto por Arai e Ueda (1994).
... pode ser encontrada na literatura (ARAI; UEDA, 1994).