@InProceedings{SilvaAiro:2015:OtPaDe,
author = "Silva, Bruna Henrique da and Airoldi, Vladimir Jesus Trava",
affiliation = "{Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE)} and {Instituto
Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE)}",
title = "Otimiza{\c{c}}{\~a}o dos par{\^a}metros de
deposi{\c{c}}{\~a}o de filmes de DLC (Diamond-like Carbon) como
fun{\c{c}}{\~a}o da polariza{\c{c}}{\~a}o e largura do pulso
em superf{\'{\i}}cie de Ti6Al4V",
booktitle = "Anais...",
year = "2015",
organization = "Semin{\'a}rio de Inicia{\c{c}}{\~a}o Cient{\'{\i}}fica do
INPE (SICINPE).",
publisher = "INPE",
address = "S{\~a}o Jos{\'e} dos Campos",
note = "{Bolsa PIBIC/INPE/CNPq}",
keywords = "filmes de DLC, Ti6Al4V.",
abstract = "Com o avan{\c{c}}o tecnol{\'o}gico e a busca por novos materiais
os filmes de carbonotipo diamante (DLC) s{\~a}o recentemente de
grande interesse para grupos cient{\'{\i}}ficos e
tecnol{\'o}gicos, isso deve-se {\`a}s suas propriedades, como
alta ades{\~a}o do filme aos substratos met{\'a}licos, baixo
coeficiente de atrito, diferentes formas e obten{\c{c}}{\~a}o em
grandes escalas. O objetivo deste trabalho est{\'a} centrado na
obten{\c{c}}{\~a}o de uma rela{\c{c}}{\~a}o clara dos
par{\^a}metros de descarga e gera{\c{c}}{\~a}o do plasma em
fun{\c{c}}{\~a}o da alta tens{\~a}o de polariza{\c{c}}{\~a}o
na obten{\c{c}}{\~a}o do filme de DLC em substratos de liga de
Tit{\^a}nio (Ti6Al4V) geralmente muito usada em
aplica{\c{c}}{\~o}es espaciais e industriais. Para a
obten{\c{c}}{\~a}o destes resultados, utilizou-se a t{\'e}cnica
de deposi{\c{c}}{\~a}o DC pulsada PECVD (Plasma Enhanced
Chemical Vapor Deposition), esta possibilitou fazer a
modifica{\c{c}}{\~a}o da superf{\'{\i}}cie e ao mesmo tempo
efetuar a deposi{\c{c}}{\~a}o do filme de DLC, efetuando
manobras de trocas in situ de gases e altera{\c{c}}{\~a}o de
par{\^a}metros de nuclea{\c{c}}{\~a}o e de crescimento dos
filmes de DLC. Para isso, foram utilizadas algumas pr{\'a}ticas
laboratoriais, inicialmente com os processos de polimento de
amostras e em seguida, os procedimentos e t{\'e}cnicas de
nuclea{\c{c}}{\~a}o e crescimento dos filmes de DLC e as
respectivas interfaces. As amostras foram caracterizadas pelas
t{\'e}cnicas de Perfilometria {\'o}ptica e ensaios
tribol{\'o}gicos que avaliaram a qualidade dos filmes e
ades{\~a}o com o substrato utilizado.",
conference-location = "S{\~a}o Jos{\'e} dos Campos",
language = "pt",
ibi = "8JMKD3MGP3W34P/433QP5L",
url = "http://urlib.net/ibi/8JMKD3MGP3W34P/433QP5L",
targetfile = "Silva_otimizacao.pdf",
urlaccessdate = "08 maio 2024"
}