@InProceedings{SilvaNetoTrav:2015:CVGrMo,
author = "Silva Neto, Jos{\'e} Vieira da and Trava-Airoldi, Vladimir
Jesus",
affiliation = "Instituto Federal de Educa{\c{c}}{\~a}o, Ci{\^e}ncia e
Tecnologia de S{\~a}o Paulo (IFSP) and {Instituto Nacional de
Pesquisas Espaciais (INPE)}",
title = "Estudos do controle da taxa de crescimento de diamante - CVD de
grau monocristalino em reator de micro-ondas de alta
pot{\^e}ncia",
year = "2015",
organization = "Semin{\'a}rio de Inicia{\c{c}}{\~a}o Cient{\'{\i}}fica e
Inicia{\c{c}}{\~a}o em Desenvolvimento Tecnol{\'o}gico e
Inova{\c{c}}{\~a}o (SICINPE)",
publisher = "Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais",
address = "S{\~a}o Jos{\'e} dos Campos, SP",
note = "{Bolsa PIBIC/INPE/CNPq}",
abstract = "O projeto em Diamante - CVD e seus Materiais Relacionados, O
DIMARE, do INPE tem estado sempre em evid{\^e}ncia, dirigido para
os interesses de aplica{\c{c}}{\~o}es espaciais foi, tamb{\'e}m
absorvido, por dois projetos tem{\'a}ticos. Objetiva-se com esta
proposta, inovar para uma das mais cobi{\c{c}}adas {\'a}reas de
estudos em Diamante - CVD, que {\'e} a de obter o diamante em
estrutura mono cristalina via baixas press{\~o}es e baixas
temperaturas, ou seja, via rea{\c{c}}{\~o}es qu{\'{\i}}micas
na fase vapor (CVD do Ingl{\^e}s, Chemical Vapor Deposition).
Neste trabalho, aproveitando a especialidade do aluno,
estudar-se-{\'a} uma maneira de controlar mecanicamente o
deslocamento do porta substrato na mesma velocidade da taxa de
crescimento do filme de diamante, que {\'e} um procedimento
necess{\'a}rio para se obter grau mono cristalino. Este controle
ser{\'a} obediente {\`a} varia{\c{c}}{\~a}o de temperatura
medida sobre o filme de diamante, controlado por meio de
pir{\^o}metro {\'o}ptico com precis{\~a}o melhor que 0,1 C em
1000 C. Este controle {\'e} uma parte importante do experimento,
pois ajudar{\'a} a manter o crescimento com uma {\'u}nica
estrutura cristalina. O aluno estar{\'a}, tamb{\'e}m, sendo
introduzido {\`a} pr{\'a}tica laboratorial em crescimento de
diamante - CVD via reator de microondas em 2,45 GHz de alta
pot{\^e}ncia. Os principais par{\^a}metros de crescimento deste
tipo de filme de diamante CVD estar{\'a} sendo estudado, com as
devidas caracteriza{\c{c}}{\~o}es, via MEV, espectroscopia de
espalhamento Raman, Difra{\c{c}}{\~a}o de Raio-X, etc., em
conjunto com a equipe.",
conference-location = "S{\~a}o Jos{\'e} dos Campos, SP",
language = "pt",
ibi = "8JMKD3MGP3W34P/433QPGP",
url = "http://urlib.net/ibi/8JMKD3MGP3W34P/433QPGP",
targetfile = "Silva neto_estudos.pdf",
urlaccessdate = "12 maio 2024"
}