@TechReport{AraújoTravMelo:2017:EsCoTa,
               author = "Ara{\'u}jo, Let{\'{\i}}cia Maiara de and Trava-Airoldi, 
                         Vladimir Jesus and Melo, Le{\^o}nidas",
                title = "Estudos do controle da taxa de crescimento de diamante cvd de grau 
                         mono cristalino em reator de micro-ondas de alta pot{\^e}ncia",
          institution = "Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais",
                 year = "2017",
                 type = "RPQ",
              address = "S{\~a}o Jos{\'e} dos Campos",
                 note = "{Bolsa PIBIC/INPE/CNPq}",
             keywords = "Reator MWCVD, Automatiza{\c{c}}{\~a}o.",
             abstract = "O projeto pertencente ao Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais 
                         INPE, tem como objetivo, inovar em uma das mais cobi{\c{c}}adas 
                         {\'a}reas de estudos em Diamante CVD. No qual {\'e} a 
                         obten{\c{c}}{\~a}o de diamante em estrutura mono cristalina via 
                         baixas press{\~o}es e baixas temperaturas. Neste trabalho, 
                         estudar-se a montagem de um reator de micro-ondas de alta 
                         pot{\^e}ncia para que futuramente comecem os testes que 
                         controlar{\~a}o mecanicamente o deslocamento do porta-substrato 
                         na mesma velocidade da taxa de crescimento do filme de diamante. 
                         Para isso o reator MWCVD foi desmontado e devidamente preparado, 
                         atrav{\'e}s da substitui{\c{c}}{\~a}o e adi{\c{c}}{\~a}o de 
                         componentes de seus subsistemas: resfriamento, acionamento 
                         el{\'e}trico, v{\'a}cuo e linhas de gases. A etapa de montagem 
                         do reator foi realizada, seguida pela incorpora{\c{c}}{\~a}o do 
                         pir{\^o}metro {\'o}ptico e os demais mecanismos necess{\'a}rios 
                         para obten{\c{c}}{\~a}o do objetivo proposto. O objetivo 
                         proposto foi conclu{\'{\i}}do com sucesso, pois conseguimos 
                         incorporar todos os elementos necess{\'a}rios para come{\c{c}}ar 
                         os testes, os quais ser{\~a}o estudados e incorporados a 
                         trabalhos futuros.",
          affiliation = "{Faculdade de Tecnologia Professor Jessen Vidal} and {Instituto 
                         Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE)} and {Faculdade de 
                         Tecnologia Professor Jessen Vidal}",
             language = "pt",
                pages = "52",
                  ibi = "8JMKD3MGP3W34R/42K7DKE",
                  url = "http://urlib.net/ibi/8JMKD3MGP3W34R/42K7DKE",
           targetfile = "araujo_estudos.pdf",
        urlaccessdate = "19 abr. 2024"
}