@TechReport{AraújoTravRamo:2016:CVGrMo,
               author = "Ara{\'u}jo, Let{\'{\i}}cia Maiara de and Trava-Airoldi, 
                         Vladimir Jesus and Ramos, Marco Antonio Ram{\'{\i}}rez",
                title = "Estudos do controle da taxa de crescimento de diamante - CVD de 
                         grau monocristalino em reator de micro-ondas de alta 
                         pot{\^e}ncia",
          institution = "Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais",
                 year = "2016",
                 type = "RPQ",
              address = "S{\~a}o Jos{\'e} dos Campos",
                 note = "{Bolsa PIBIC/INPE/CNPq}",
             keywords = "diamante CVD, microondas.",
             abstract = "O projeto em deposi{\c{c}}{\~a}o qu{\'{\i}}mica da fase vapor 
                         (Diamante) e seus Materiais Relacionados, O DIMARE, do INPE tem 
                         estado sempre em evid{\^e}ncia, dirigido por dois projetos 
                         tem{\'a}ticos. Objetiva-se com esta proposta, inovar para uma das 
                         mais cobi{\c{c}}adas {\'a}reas de estudos em Diamante CVD, que 
                         {\'e} a de obter o diamante em estrutura mono cristalina via 
                         baixas press{\~o}es e baixas temperaturas, ou seja, via 
                         rea{\c{c}}{\~o}es qu{\'{\i}}micas na fase vapor. Neste 
                         trabalho, estudar-se-{\'a} uma maneira de controlar mecanicamente 
                         o deslocamento do porta substrato na mesma velocidade da taxa de 
                         crescimento do filme de diamante, que {\'e} um procedimento 
                         necess{\'a}rio para se obter grau mano cristalino. Para isso o 
                         reator MWCVD foi desmontado e devidamente preparado, atrav{\'e}s 
                         da substitui{\c{c}}{\~a}o e adi{\c{c}}{\~a}o de componentes de 
                         seus subsistemas.",
          affiliation = "{Faculdade Tecnol{\'o}gica (FATEC)} and {Instituto Nacional de 
                         Pesquisas Espaciais (INPE)} and {Instituto Nacional de Pesquisas 
                         Espaciais (INPE)}",
             language = "pt",
                pages = "38",
                  ibi = "8JMKD3MGP3W34R/42PMPFS",
                  url = "http://urlib.net/ibi/8JMKD3MGP3W34R/42PMPFS",
           targetfile = "Araujo_estudos.pdf",
        urlaccessdate = "08 maio 2024"
}