@TechReport{SilvaBalFerBelAma:2014:CaÓpMo,
author = "Silva, Belchior Elton Lima da and Baldan, Maur{\'{\i}}cio
Ribeiro and Ferreira, Neiden{\^e}i Gomes and Beloto, Ant{\^o}nio
Fernando and Amaral J{\'u}nior, Miguel Angelo",
title = "Caracter{\'{\i}}sticas {\'o}pticas e morfol{\'o}gicas do
sil{\'{\i}}cio poroso produzido por processo de
anodiza{\c{c}}{\~a}o em solu{\c{c}}{\~o}es HF-Acetonitrila e
HF-Etanol",
institution = "Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais",
year = "2014",
type = "RDP",
address = "S{\~a}o Jos{\'e} dos Campos",
note = "{Bolsa PIBIC/INPE/CNPq}",
keywords = "sil{\'{\i}}cio poroso, anodiza{\c{c}}{\~a}o.",
abstract = "Este trabalho tem como objetivo estudar o efeito de alguns
par{\^a}metros experimentais (Tempo de ataque, densidade de
corrente e composi{\c{c}}{\~a}o do eletr{\'o}lito) nas
caracter{\'{\i}}sticas morfol{\'o}gicas do sil{\'{\i}}cio
poroso. Amostras de sil{\'{\i}}cio poroso podem ser produzidas a
partir de diversas t{\'e}cnicas, as amostras contidas nesse
relat{\'o}rio foram obtidas a partir do processo de
anodiza{\c{c}}{\~a}o eletroqu{\'{\i}}mica do sil{\'{\i}}cio
monocristalino, esse m{\'e}todo possibilita a
obten{\c{c}}{\~a}o de poros com diferentes morfologias,
di{\^a}metros e profundidades. Na anodiza{\c{c}}{\~a}o
eletroqu{\'{\i}}mica o substrato de sil{\'{\i}}cio {\'e} o
eletrodo de trabalho, que {\'e} polarizado anodicamente. Neste
caso utilizou-se um contra eletrodo de Platina, pois essa {\'e}
inerte ao HF. Esses eletrodos foram inseridos em uma cuba
eletrol{\'{\i}}tica tamb{\'e}m inerte ao eletr{\'o}lito. As
amostras foram obtidas a partir de l{\^a}minas de
sil{\'{\i}}cio tipo-n, com orienta{\c{c}}{\~a}o
cristalogr{\'a}fica <100> e resistividade 1-20 \Ω.cm. Na
primeira etapa do trabalho avaliou-se o efeito do tempo de ataque
nas caracter{\'{\i}}sticas do PS. Para isso, variou-se a
dura{\c{c}}{\~a}o do processo de anodiza{\c{c}}{\~a}o (5, 10,
15, 20 e 30 min.) mantendo-se os outros par{\^a}metros
constantes. Os resultados demonstraram que, em ataques a partir de
20 minutos, as camadas porosas apresentam maior homogeneidade. Na
segunda etapa da pesquisa o par{\^a}metro estudado foi a
densidade de corrente utilizada durante a anodiza{\c{c}}{\~a}o.
Para avaliar o efeito desse par{\^a}metro nas
caracter{\'{\i}}sticas do PS, foram realizados ataques de 20
minutos, onde se variou a corrente aplicada nas amostras (5, 10,
15, 20, 25, 30, 35 mA), mantendo os outros par{\^a}metros
experimentais constantes. Os resultados obtidos indicam que a
condi{\c{c}}{\~a}o {\'o}tima foi atingida na amostra de 30 mA.
Por fim, estudou-se o efeito da composi{\c{c}}{\~a}o do
eletr{\'o}lito no poro. Nessa terceira etapa foram realizados
ataques de 20 minutos, utilizando-se uma corrente el{\'e}trica
igual a 30 mA. Variou-se a molaridade de HF na solu{\c{c}}{\~a}o
eletrol{\'{\i}}tica, mantendo os outros par{\^a}metros
experimentais constantes. As caracter{\'{\i}}sticas das amostras
foram analisadas a partir da Microscopia Eletr{\^o}nica de
Varredura (morfologia superficial, di{\^a}metro e profundidade
dos poros) e da perfilometria {\'o}ptica (rugosidade superficial
das amostras, profundidade dos poros e {\'a}rea superficial
total).",
affiliation = "{Universidade Federal de S{\~a}o Paulo (UNIFESP)} and {Instituto
Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE)} and {Instituto Nacional de
Pesquisas Espaciais (INPE)} and {Instituto Nacional de Pesquisas
Espaciais (INPE)} and {Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais
(INPE)}",
pages = "44",
ibi = "8JMKD3MGP3W34R/42QRPK5",
url = "http://urlib.net/ibi/8JMKD3MGP3W34R/42QRPK5",
targetfile = "Belchior Elton Lima da Silva.pdf",
urlaccessdate = "13 maio 2024"
}