@TechReport{SilvaBalFerBelAma:2013:CaÓpMo,
author = "Silva, Belchior Elton Lima da and Baldan, Maur{\'{\i}}cio
Ribeiro and Ferreira, Neiden{\^e}i Gomes and Beloto, Ant{\^o}nio
Fernando and Amaral J{\'u}nior, Miguel Angelo",
title = "Caracter{\'{\i}}sticas {\'o}pticas e morfol{\'o}gicas do
sil{\'{\i}}cio poroso produzido por processo de
anodiza{\c{c}}{\~a}o em solu{\c{c}}{\~o}es HF-Acetonitrila e
HF-Etanol",
institution = "Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais",
year = "2013",
type = "RDP",
address = "S{\~a}o Jos{\'e} dos Campos",
note = "{Bolsa PIBIC/INPE/CNPq}",
keywords = "sil{\'{\i}}cio poroso, anodiza{\c{c}}{\~a}o.",
abstract = "Esse trabalho tem como objetivo sintetizar amostras de
Sil{\'{\i}}cio Poroso (PS) a partir da anodiza{\c{c}}{\~a}o do
sil{\'{\i}}cio monocristalino (Si) e realizar um estudo
sistem{\'a}tico da a{\c{c}}{\~a}o de alguns par{\^a}metros
experimentais sobre as caracter{\'{\i}}sticas {\'o}pticas e
morfol{\'o}gicas do PS. Amostras de PS podem ser obtidas pelo
processo de anodiza{\c{c}}{\~a}o em l{\^a}minas de
Sil{\'{\i}}cio, todavia, suas caracter{\'{\i}}sticas finais
podem ser influenciadas por diversos par{\^a}metros durante o
processo de anodiza{\c{c}}{\~a}o, dentre eles encontra-se a
densidade de corrente e o tempo de anodiza{\c{c}}{\~a}o. Neste
trabalho foram sintetizadas amostras sob diferentes valores de
tempo (5, 10, 15, 20 e 30 min.) e de corrente (5, 10, 15, 20, 25,
30, 35 mA), mantendo-se os outros par{\^a}metros experimentais
constantes durante o ataque (tipo e resistividade da amostra de
Si, luminosidade sob o substrato e concentra{\c{c}}{\~a}o do
eletr{\'o}lito). Na anodiza{\c{c}}{\~a}o eletroqu{\'{\i}}mica
o substrato de Si {\'e} o eletrodo de trabalho, que {\'e}
polarizado anodicamente. Neste caso utilizou-se um contra eletrodo
de Platina, pois essa {\'e} inerte ao HF. Esses eletrodos foram
inseridos em uma cuba eletrol{\'{\i}}tica tamb{\'e}m inerte ao
eletr{\'o}lito. As amostras foram obtidas a partir de
l{\^a}minas de Si tipo-n, com orienta{\c{c}}{\~a}o
cristalogr{\'a}fica <100> e resistividade 1-20 \Ω.cm. As
caracter{\'{\i}}sticas das amostras foram analisadas a partir da
Microscopia Eletr{\^o}nica de Varredura (morfologia superficial)
e da perfilometria {\'o}ptica (rugosidade superficial das
amostras, profundidade dos poros e {\'a}rea superficial total).
Os resultados indicaram que o tempo de anodiza{\c{c}}{\~a}o
afeta significativamente as caracter{\'{\i}}sticas finais do
poro, provocando uma mudan{\c{c}}a em sua morfologia superficial
em fun{\c{c}}{\~a}o do tempo de anodiza{\c{c}}{\~a}o. Amostras
submetidas a elevados tempos de anodiza{\c{c}}{\~a}o
apresentaram um ataque mais efetivo, apresentando poros mais
homog{\^e}neos, com maior profundidade e em maior n{\'u}mero. De
maneira semelhante, a densidade de corrente tamb{\'e}m afetou de
forma acentuada as caracter{\'{\i}}sticas do PS, podendo-se
observar uma elevada rugosidade m{\'e}dia e poros de menor
dimens{\~a}o em fun{\c{c}}{\~a}o do aumento da densidade de
corrente.",
affiliation = "{Universidade Federal de S{\~a}o Paulo (UNIFESP)} and {Instituto
Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE)} and {Instituto Nacional de
Pesquisas Espaciais (INPE)} and {Instituto Nacional de Pesquisas
Espaciais (INPE)} and {Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais
(INPE)}",
pages = "44",
ibi = "8JMKD3MGP3W34R/42SAEHP",
url = "http://urlib.net/ibi/8JMKD3MGP3W34R/42SAEHP",
targetfile = "Belchior Elton Lima da Silva.pdf",
urlaccessdate = "14 maio 2024"
}