@TechReport{SouzaFerr:2010:ObMoFi,
               author = "Souza, Ruan Carlos Rezende de and Ferreira, Neiden{\^e}i Gomes",
                title = "Obten{\c{c}}{\~a}o e modifica{\c{c}}{\~a}o de filmes de 
                         diamante CVD dopados com boro",
          institution = "Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais",
                 year = "2010",
                 type = "RPQ",
              address = "S{\~a}o Jos{\'e} dos Campos",
                 note = "{Bolsa PIBIC/INPE/CNPq}",
             keywords = "filmes de diamente, CVD, Boro.",
             abstract = "Este trabalho, iniciado em agosto de 2009 tem como objetivo obter 
                         filmes de diamante dopado por boro e caracteriz{\'a}-lo quanto 
                         {\`a} morfologia da superf{\'{\i}}cie e as propriedades 
                         semicondutoras, para aplica{\c{c}}{\~o}es em sensores 
                         eletroqu{\'{\i}}micos. Os filmes foram crescidos sobre substrato 
                         de Si (100) tipo p com resistividade de 1-20 W.cm, atrav{\'e}s do 
                         m{\'e}todo de deposi{\c{c}}{\~a}o qu{\'{\i}}mica a vapor, 
                         ativada por filamento quente de tungst{\^e}nio, para a 
                         s{\'{\i}}ntese de filmes de diamante a baixa press{\~a}o. O 
                         filme antes do crescimento passou por um processo em que o 
                         substrato recebe a deposi{\c{c}}{\~a}o de diamante particulado, 
                         onde fragmentos microm{\'e}tricos alojam-se na 
                         superf{\'{\i}}cie do substrato, proporcionando o crescimento do 
                         filme de diamante. A mistura gasosa no interior do reator foi: 
                         hidrog{\^e}nio e metano. Enquanto a dopagem, ela {\'e} feita 
                         atrav{\'e}s de um borbulhador que cont{\'e}m {\'o}xido 
                         b{\'o}rico (B2O3) dissolvido em metanol (CH3OH) na 
                         propor{\c{c}}{\~a}o de dopagem desejada. Quando B2O3 {\'e} 
                         dissolvido em CH3OH, trimetilborato (CH3O)3B {\'e} produzido, 
                         sendo, provavelmente, a subst{\^a}ncia contendo boro adicionado 
                         {\`a} fase gasosa de crescimento. Os resultados anteriores do 
                         primeiro relat{\'o}rio, j{\'a} mostraram filmes em 
                         fun{\c{c}}{\~a}o da dopagem. Nesta etapa, a partir de 
                         mar{\c{c}}o de 2010 foram realizadas s{\'e}ries de crescimento 
                         com varia{\c{c}}{\~o}es na quantidade de metano, mantendo-se a 
                         dopagem fixa: LOTE 1 (1% CH4 e 99% H2), LOTE 2 (3% CH4 e 97% H2), 
                         LOTE 3 (5% CH4 e 95% H2), LOTE 4 (7% e 93%H2). Os filmes obtidos 
                         foram submetidos por an{\'a}lises de microscopia eletr{\^o}nica 
                         de varredura (MEV), difratometria de raios-X e espectroscopia de 
                         espalhamento Raman. As an{\'a}lises confirmaram as 
                         caracter{\'{\i}}sticas de microdiamantes dopados por boro, 
                         demonstrando propriedades condutoras e foi poss{\'{\i}}vel 
                         observar que com o aumento da concentra{\c{c}}{\~a}o de metano 
                         ocasiona um aumento nas liga{\c{c}}{\~o}es de carbono com 
                         hibridiza{\c{c}}{\~a}o do tipo sp2, que tende a piorar a 
                         qualidade cristalina do filme de diamante, por apresentar, carbono 
                         amorfo. Esses resultados s{\~a}o importantes, pois a continuidade 
                         desse estudo visa avaliar a influ{\^e}ncia do sp2 na dopagem do 
                         filme e como isso pode ser caracterizado por medidas de 
                         {\^a}ngulo de contato e Mott-Schttky plot onde os mesmos 
                         ser{\~a}o avaliados ap{\'o}s sucessivos ataques em plasma de 
                         hidrog{\^e}nio dentro do objetivo de modifica{\c{c}}{\~a}o 
                         superficial dos filmes de diamante.",
          affiliation = "{ETEP Faculdades} and {Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais 
                         (INPE)}",
             language = "pt",
                pages = "20",
                  ibi = "8JMKD3MGP3W34R/42U5BHP",
                  url = "http://urlib.net/ibi/8JMKD3MGP3W34R/42U5BHP",
           targetfile = "Ruan Carlos Rezende de Souza.pdf",
        urlaccessdate = "03 maio 2024"
}