@TechReport{SilvaTrav:2015:OtPaDe,
               author = "Silva, Bruna Henrique da and Trava-Airoldi, Vladimir Jesus",
                title = "Otimiza{\c{c}}{\~a}o dos par{\^a}metros de 
                         deposi{\c{c}}{\~a}o de filmes de DLC (Diamond-like Carbon) como 
                         fun{\c{c}}{\~a}o da polariza{\c{c}}{\~a}o e largura do pulso 
                         em superf{\'{\i}}cie de Ti6Al4V",
          institution = "Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais",
                 year = "2015",
                 type = "RPQ",
              address = "S{\~a}o Jos{\'e} dos Campos",
                 note = "{Bolsa PIBIC/INPE/CNPq}",
             keywords = "Deposi{\c{c}}{\~a}o de filmes DLC.",
             abstract = "Com o avan{\c{c}}o tecnol{\'o}gico e a busca por novos materiais 
                         os filmes de carbono-tipo diamante (DLC) s{\~a}o recentemente de 
                         grande interesse para grupos cient{\'{\i}}ficos e 
                         tecnol{\'o}gicos, isso deve-se {\`a}s suas propriedades, como 
                         alta ades{\~a}o do filme aos substratos met{\'a}licos, baixo 
                         coeficiente de atrito, diferentes formas e obten{\c{c}}{\~a}o em 
                         grandes escalas. O objetivo deste trabalho est{\'a} centrado na 
                         obten{\c{c}}{\~a}o de uma rela{\c{c}}{\~a}o clara dos 
                         par{\^a}metros de descarga e gera{\c{c}}{\~a}o do plasma em 
                         fun{\c{c}}{\~a}o da alta tens{\~a}o de polariza{\c{c}}{\~a}o 
                         na obten{\c{c}}{\~a}o do filme de DLC em substratos de liga de 
                         Tit{\^a}nio (Ti6Al4V) geralmente muito usada em 
                         aplica{\c{c}}{\~o}es espaciais e industriais. Para a 
                         obten{\c{c}}{\~a}o destes resultados, utilizou-se a t{\'e}cnica 
                         de deposi{\c{c}}{\~a}o DC pulsada PECVD (Plasma Enhanced 
                         Chemical Vapor Deposition), esta possibilitou fazer a 
                         modifica{\c{c}}{\~a}o da superf{\'{\i}}cie e ao mesmo tempo 
                         efetuar a deposi{\c{c}}{\~a}o do filme de DLC, efetuando 
                         manobras de trocas in situ de gases e altera{\c{c}}{\~a}o de 
                         par{\^a}metros de nuclea{\c{c}}{\~a}o e de crescimento dos 
                         filmes de DLC. Para isso, foram utilizadas algumas pr{\'a}ticas 
                         laboratoriais, inicialmente com os processos de polimento de 
                         amostras e em seguida, os procedimentos e t{\'e}cnicas de 
                         nuclea{\c{c}}{\~a}o e crescimento dos filmes de DLC e as 
                         respectivas interfaces. As amostras foram caracterizadas pelas 
                         t{\'e}cnicas de Perfilometria {\'o}ptica e Ensaio de 
                         Ader{\^e}ncia.",
          affiliation = "{} and {Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE)}",
             language = "pt",
                pages = "15",
                  ibi = "8JMKD3MGP3W34R/432MCES",
                  url = "http://urlib.net/ibi/8JMKD3MGP3W34R/432MCES",
           targetfile = "Bruna Henrique da Silva.pdf",
        urlaccessdate = "17 maio 2024"
}