@TechReport{SilvaBald:2015:EsFiDi,
               author = "Silva, Belchior Elton Lima da and Baldan, Maur{\'{\i}}cio 
                         Ribeiro",
                title = "Estudo de filmes de diamante dopados com boro com 
                         varia{\c{c}}{\~a}o de arg{\^o}nio",
          institution = "Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais",
                 year = "2015",
                 type = "RPQ",
              address = "S{\~a}o Jos{\'e} dos Campos",
                 note = "{Bolsa PIBIC/INPE/CNPq}",
             keywords = "Filmes de diamante, boro, arg{\^o}nio.",
             abstract = "Propriedades como a elevada dureza mec{\^a}nica e estabilidade 
                         qu{\'{\i}}mica tornam o diamante um material de grande interesse 
                         na ind{\'u}stria e na pesquisa. No entanto, sua baixa 
                         disponibilidade faz com que seu custo seja consideravelmente 
                         elevado, o que inviabiliza seu uso em determinadas 
                         aplica{\c{c}}{\~o}es industriais. Uma solu{\c{c}}{\~a}o para 
                         esse problema {\'e} a produ{\c{c}}{\~a}o de filmes de diamante 
                         de maneira sint{\'e}tica, pois esse processo diminui o custo do 
                         material final e possibilita a engenharia de suas propriedades. 
                         Este trabalho, iniciado em agosto de 2014, tem como objetivo a 
                         produ{\c{c}}{\~a}o de filmes de diamante sob atmosferas com 
                         diferentes concentra{\c{c}}{\~o}es de g{\'a}s Arg{\^o}nio, de 
                         modo que se possa compreender o efeito desse elemento nas 
                         propriedades finais do material. Ap{\'o}s a s{\'{\i}}ntese da 
                         primeira s{\'e}rie de filmes, ser{\'a} produzido um segundo 
                         conjunto de amostras sob as mesmas condi{\c{c}}{\~o}es, tendo 
                         como diferencial uma dopagem estrutural a partir de uma 
                         solu{\c{c}}{\~a}o de Boro. Espera-se que a dopagem tenha uma 
                         influ{\^e}ncia consider{\'a}vel nas propriedades 
                         eletroqu{\'{\i}}micas das amostras, sendo que as mesmas 
                         ser{\~a}o caracterizadas por meio da Espectroscopia RAMAN, da 
                         Microscopia Eletr{\^o}nica de Varredura e da Espectroscopia de 
                         Fotoel{\'e}trons excitados por Raio-X. O trabalho se iniciou com 
                         um estudo do ambiente no interior do reator de crescimento, 
                         buscando-se determinar condi{\c{c}}{\~o}es que tornassem 
                         poss{\'{\i}}vel a obten{\c{c}}{\~a}o de filmes espessos e 
                         homog{\^e}neos. Os filmes foram obtidos pela t{\'e}cnica HFCVD 
                         (Hot Filament Chemical Vapor Deposition), utilizando um substrato 
                         de Tit{\^a}nio com {\'a}rea de 1 cm² e uma atmosfera gasosa 
                         formada por 1% de CH4 e 99% de H2. Foram realizados testes 
                         variando-se a temperatura na superf{\'{\i}}cie do substrato (650 
                         750 °C), dist{\^a}ncia entre o filamento de aquecimento e a 
                         amostra (3 5 mm), tipo de prepara{\c{c}}{\~a}o e limpeza das 
                         amostras (Deposi{\c{c}}{\~a}o por ranhuras ou por 
                         atra{\c{c}}{\~a}o eletrost{\'a}tica) e dist{\^a}ncia entre a 
                         alimenta{\c{c}}{\~a}o dos gases e o substrato de tit{\^a}nio (2 
                         4 cm). As amostras mais homog{\^e}neas foram produzidas em uma 
                         temperatura de 715 °C, mantendo-se uma dist{\^a}ncia entre os 
                         filamentos e os substratos de 5mm. O tipo de preparo da amostra 
                         n{\~a}o teve influ{\^e}ncia consider{\'a}vel nas propriedades 
                         finais do filme, tendo em vista que n{\~a}o houve uma 
                         varia{\c{c}}{\~a}o relevante na sua morfologia. Desse modo, na 
                         segunda etapa do projeto, produziram-se amostras nas 
                         condi{\c{c}}{\~o}es {\'o}timas, variando-se a 
                         concentra{\c{c}}{\~a}o de Arg{\^o}nio na mistura gasosa. Tais 
                         amostras foram analisadas a partir da Espectroscopia RAMAN. Para 
                         continuidade do projeto, espera-se caracterizar a quantidade de 
                         portadores dos filmes e estudar sua varia{\c{c}}{\~a}o 
                         morfol{\'o}gica e estrutural, estudando-se tamb{\'e}m o efeito 
                         da dopagem de boro nas propriedades do filme.",
          affiliation = "{Universidade Federal de S{\~a}o Paulo (UNIFESP)} and {Instituto 
                         Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE)}",
             language = "pt",
                pages = "14",
                  ibi = "8JMKD3MGP3W34R/432MCH5",
                  url = "http://urlib.net/ibi/8JMKD3MGP3W34R/432MCH5",
           targetfile = "Belchior Elton Lima da Silva.pdf",
        urlaccessdate = "12 maio 2024"
}