@TechReport{SilvaNetoTravCora:2015:EsCoTa,
author = "Silva Neto, Jos{\'e} Vieira da and Trava-Airoldi, Vladimir Jesus
and Corat, Evaldo Jos{\'e}",
title = "Estudos do controle da taxa de crescimento de diamante cvd de grau
mono cristalino em reator de micro-ondas de alta pot{\^e}ncia",
institution = "Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais",
year = "2015",
type = "RPQ",
address = "S{\~a}o Jos{\'e} dos Campos",
note = "{Bolsa PIBIC/INPE/CNPq}",
keywords = "Reator MWCVD, Automatiza{\c{c}}{\~a}o.",
abstract = "O projeto em Diamante - CVD e seus Materiais Relacionados, O
DIMARE, do INPE tem estado sempre em evid{\^e}ncia, dirigido para
os interesses de aplica{\c{c}}{\~o}es espaciais foi, tamb{\'e}m
absorvido, por dois projetos tem{\'a}ticos. Objetiva-se com esta
proposta, inovar para uma das mais cobi{\c{c}}adas {\'a}reas de
estudos em Diamante CVD, que {\'e} a de obter o diamante em
estrutura mono cristalina via baixas press{\~o}es e baixas
temperaturas, ou seja, via rea{\c{c}}{\~o}es qu{\'{\i}}micas
na fase vapor. Neste trabalho, estudou-se uma maneira de controlar
mecanicamente o deslocamento do porta substrato na mesma
velocidade da taxa de crescimento do filme de diamante, que {\'e}
um procedimento necess{\'a}rio para se obter grau mono
cristalino, bem como a pr{\'a}tica de crescimento de diamante
CVD. Para isso o reator MWCVD foi desmontado e devidamente
preparado, atrav{\'e}s da substitui{\c{c}}{\~a}o e
adi{\c{c}}{\~a}o de componentes de seus subsistemas, seguido
pela montagem. O projeto de movimenta{\c{c}}{\~a}o do porta
substrato foi constru{\'{\i}}do e se baseia em um servomotor
controlado por um CLP e um drive. Far{\'a} parte deste sistema um
pir{\^o}metro otico e um fuso de esfera para converter movimento
rotativo em linear. Simultaneamente, foi realizado o crescimento
de filme de diamante CVD em reator HFCVD usando WC-Co como
substrato previamente tratado com solu{\c{c}}{\~a}o de Murakami
para aumentar a rugosidade e {\'A}gua R{\'e}gia para retirada do
cobalto, um catalizador da forma{\c{c}}{\~a}o de grafite. Ao
susbtrato foi adicionado nano particulas de diamante (seeding) e
ent{\~a}o o filme foi crescido. Para a an{\'a}lise as amostras
foram submetida a AFM, MEV, EDX e Espectroscopia Raman e o teste
de indenta{\c{c}}{\~a}o. A an{\'a}lise dos resultados obtidos
confirmaram o crescimento do filme de diamante na
superf{\'{\i}}cie de WC-Co, sugerindo uma eficiencia dos
pr{\'e} tratamentos qu{\'{\i}}micos. No entanto o teste de
indenta{\c{c}}{\~a}o revelou a delamina{\c{c}}{\~a}o total do
diamante, resultado da baixa ader{\^e}ncia do filme. Pode-se
concluir atrav{\'e}s deste estapa do estudo que os tratamentos
qu{\'{\i}}micos foram eficientes para o seus respectivos fins e
que o projeto de movimenta{\c{c}}{\~a}o do porta substrato
encontra-se pronto para ser implemetado ao rator MWCVD.",
affiliation = "Instituto Federal de Educa{\c{c}}{\~a}o, Ci{\^e}ncia e
Tecnologia de S{\~a}o Paulo (IFSP) and {Instituto Nacional de
Pesquisas Espaciais (INPE)} and {Instituto Nacional de Pesquisas
Espaciais (INPE)}",
language = "pt",
pages = "26",
ibi = "8JMKD3MGP3W34R/432MFDS",
url = "http://urlib.net/ibi/8JMKD3MGP3W34R/432MFDS",
targetfile = "Jos{\'e} Vieira da Silva Neto.pdf",
urlaccessdate = "08 maio 2024"
}