@InProceedings{SouzaLeCoTrFeVa:1995:EsPrDe,
               author = "Souza, T. M. and Leite, N{\'e}lia Ferreira and Corat, Evaldo 
                         Jos{\'e} and Trava Airoldi, Vladimir Jesus and Ferreira, Neidenei 
                         Gomes and Valera, Ticiane Sanches",
          affiliation = "{} and {Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE)} and 
                         {Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE)} and {Instituto 
                         Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE)} and {Instituto Nacional de 
                         Pesquisas Espaciais (INPE)}",
                title = "Estudos preliminares da depend{\^e}ncia de stress do filme de 
                         diamante CVD em substratos de sil{\'{\i}}cio",
                 year = "1995",
         organization = "Congresso Brasileiro de Aplica{\c{c}}{\~o}es de V{\'a}cuo na 
                         Ind{\'u}stria e na Ci{\^e}ncia, 16.",
  conference-location = "Bras{\'{\i}}lia, DF",
      conference-year = "25-28 jul. 1995",
             language = "pt",
        urlaccessdate = "07 maio 2024"
}