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	<metadata ReferenceType="Thesis">
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		<secondarykey>INPE-18596-TDI/3235</secondarykey>
		<citationkey>CapoteSánchez:2022:EsPrRe</citationkey>
		<title>Estudo das propriedades de recobrimentos de DLC a partir da variação de parâmetros de deposição da técnica PECVD modificada com cátodo adicional</title>
		<alternatetitle>Influence of the deposition parameters on the properties of a-C:H coatings deposited using a modified pulsed-DC PECVD technique with an additional cathode</alternatetitle>
		<course>CMS-ETES-DIPGR-INPE-MCTI-GOV-BR</course>
		<year>2022</year>
		<date>2022-05-19</date>
		<thesistype>Dissertação (Mestrado em Ciência e Tecnologia de Materiais e Sensores)</thesistype>
		<secondarytype>TDI</secondarytype>
		<numberofpages>92</numberofpages>
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		<author>Capote Sánchez, Ariel,</author>
		<committee>Trava-Airoldi, Vladimir Jesus (presidente/orientador),</committee>
		<committee>Barros, Joao Paulo Machado,</committee>
		<committee>Bonetti, Luís Francisco,</committee>
		<e-mailaddress>capotesanchezariel@gmail.com</e-mailaddress>
		<university>Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE)</university>
		<city>São José dos Campos</city>
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		<keywords>diamond-like carbon, recobrimentos, parâmetros de deposição, PECVD, cátodo adicional, coatings, deposition parameters, additional cathode.</keywords>
		<abstract>Os recobrimentos de Diamond-like carbon (DLC) são amplamente utilizados devido às suas atraentes propriedades mecânicas, químicas, tribológicas e biológicas. Algumas características macroscópicas destes filmes como a dureza, o módulo de elasticidade, o coeficiente de atrito e a aderência interfacial, assim como as propriedades internas da microestrutura podem ser modificadas controlando os parâmetros de deposição. Foi utilizada uma técnica de deposição química na fase vapor assistida por plasma (PECVD), modificada com a incorporação de um cátodo adicional e uma fonte de corrente DC-pulsada. Esta inovadora técnica, desenvolvida pelo grupo DIMARE-INPE, tem se destacado por possibilitar o crescimento de filmes de DLC em uma pressão até cem vezes inferior que na técnica PECVD convencional, com um regime nulo ou quase-nulo de colisões moleculares e alta densidade no plasma devido ao confinamento de íons e elétrons. Neste trabalho, filmes de DLC foram crescidos em aço inoxidável AISI 316 e silício (100). As propriedades mecânicas, tribológicas, microestruturais e a aderência dos filmes foram estudadas em função da variação de alguns parâmetros de deposição, tais como a pressão, a tensão de polarização e a largura de pulso ou ciclo de trabalho da fonte DC. Os resultados indicam que foram obtidos filmes mais duros, com baixo coeficiente de atrito e com menores taxas de desgaste para as pressões de deposição mais baixas (0,1 Pa), atingindo uma dureza máxima de até 27 GPa. Além disso, filmes com melhor qualidade estrutural relativa e aderência interfacial com o substrato foram obtidos para tensões de polarização iguais ou inferiores a -800 V, para tensões mais altas foi evidenciado uma evolução grafítica na microestrutura dos filmes. Os resultados indicam que o uso da técnica PECVD DC-pulsada modificada com cátodo adicional permite a obtenção de filmes com excelentes propriedades, possibilitando ampliar suas aplicações mecânicas e tribológicas. ABSTRACT: Diamond-like carbon (DLC) coatings are widely used because of their attractive mechanical, chemical, tribological and biological properties. Some macroscopic characteristics of these films such as the hardness, elastic modulus, coefficient of friction and interfacial adhesion, as well as the internal properties of the microstructure, can be modified by controlling the deposition parameters. A plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD) technique modified with the incorporation of an additional cathode and a DC-pulsed current power source was used. This innovative technique, developed by the DIMARE-INPE, has stood out for allowing the growth of DLC films at a pressure up to a hundred times lower than conventional PECVD technique, in a near non-collision regime and high plasma density due to ion and electron confinement. In this work, DLC films were grown on AISI 316 stainless steel and silicon (100). The mechanical, tribological, microstructural properties and adhesion of the films were studied as a function of some deposition parameters variation, such as pressure, bias-voltage and the DC source duty cycle. The results indicate that harder films were obtained, with a low coefficient of friction and with lower wear rates for the lowest deposition pressures (0.1 Pa), reaching a maximum hardness of up to 27 GPa. In addition, films with relative better structural quality and interfacial adhesion with the substrate were obtained for polarization voltages equal to or less than -800 V, for higher voltages a graphitic evolution in the microstructure of the films was evidenced. The results indicate that the use of the modified DC-pulsed PECVD technique with an additional cathode allows obtaining films with excellent properties, making it possible to expand their mechanical and tribological applications.</abstract>
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		<language>pt</language>
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		<supervisor>Trava-Airoldi, Vladimir Jesus,</supervisor>
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