| 1. Identificação | |
| Tipo de Referência | Artigo em Revista Científica (Journal Article) |
| Site | mtc-m16.sid.inpe.br |
| Código do Detentor | isadg {BR SPINPE} ibi 8JMKD3MGPCW/3DT298S |
| Identificador | 6qtX3pFwXQZsFDuKxG/AMz7t |
| Repositório | sid.inpe.br/marciana/2004/01.16.14.04 |
| Última Atualização | 2013:03.21.16.56.37 (UTC) administrator |
| Repositório de Metadados | sid.inpe.br/marciana/2004/01.16.14.04.08 |
| Última Atualização dos Metadados | 2018:06.05.01.20.48 (UTC) administrator |
| Chave Secundária | INPE-10995-PRE/6451 |
| ISBN/ISSN | 1516-1439 |
| ISSN | 1516-1439 |
| Chave de Citação | CoratFerrLeitTrav:2003:CoDiGr |
| Título | Comparison of diamond growth with different gas mixtures in microwave plasma assisted chemical vapor deposition (MWCVD)  |
| Ano | 2003 |
| Mês | Jan./Feb. |
| Data de Acesso | 25 abr. 2024 |
| Tipo Secundário | PRE PN |
| Número de Arquivos | 1 |
| Tamanho | 687 KiB |
| 2. Contextualização | |
| Autor | 1 Corat, Evaldo José 2 Ferreira, Neidenei Gomes 3 Leite, Nélia Ferreira 4 Trava-Airoldi, Vladimir Jesus |
| Grupo | 1 LAS-INPE-MCT-BR |
| Endereço de e-Mail | corat@las.inpe.br |
| Revista | Materials Research |
| Volume | 6 |
| Número | 1 |
| Páginas | 63-70 |
| Histórico (UTC) | 2013-03-11 19:29:37 :: administrator -> jefferson :: 2003 2013-03-21 16:56:38 :: jefferson -> administrator :: 2003 2018-06-05 01:20:48 :: administrator -> marciana :: 2003 |
| 3. Conteúdo e estrutura | |
| É a matriz ou uma cópia? | é a matriz |
| Estágio do Conteúdo | concluido |
| Transferível | 1 |
| Tipo do Conteúdo | External Contribution |
| Palavras-Chave | diamond chemical vapor deposition halogen actinometry |
| Resumo | In this work we study the influence of oxygen addition to several halocarbon-hydrogen gas systems. Diamond growth have been performed in a high power density MWCVD reactor built in our laboratory. The growth experiments are monitored by argon actinometry as a reference to plasma temperature and atomic hydrogen production, and by mass spectrometry to compare the exhaust gas composition. Atomic hydrogen actinometry revealed that the halogen presence in the gas phase is responsible for a considerable increase of atomic hydrogen concentration in the gas phase. Mass spectrometry shows similar results for all gas mixtures tested. Growth studies with oxygen addition to CF4/H2, CCl4/H2, CCl2F2/H2 and CH3Cl/H2 reveals that oxygen increases the carbon solubility in the gas phase but no better diamond growth conditions were found. Halogens are not, per se, eligible for diamond growth. All the possible advantages, as the higher production of atomic hydrogen, have been suppressed by the low carbon solubility in the gas phase, even when oxygen is added. The diamond growth with small amount of CF4 added to CH4/H2 mixture is not aggressive to the apparatus but brings several advantages to the process. |
| Área | FISMAT |
| Arranjo | urlib.net > BDMCI > Fonds > Produção anterior à 2021 > LABAS > Comparison of diamond... |
| Conteúdo da Pasta doc | acessar |
| Conteúdo da Pasta source | não têm arquivos |
| Conteúdo da Pasta agreement | não têm arquivos |
| 4. Condições de acesso e uso | |
| URL dos dados | http://urlib.net/ibi/6qtX3pFwXQZsFDuKxG/AMz7t |
| URL dos dados zipados | http://urlib.net/zip/6qtX3pFwXQZsFDuKxG/AMz7t |
| Idioma | en |
| Arquivo Alvo | v6n1a12.pdf |
| Grupo de Usuários | administrator jefferson |
| Visibilidade | shown |
| Detentor da Cópia | SID/SCD |
| Política de Arquivamento | allowpublisher allowfinaldraft |
| Permissão de Leitura | allow from all |
| Permissão de Atualização | não transferida |
| 5. Fontes relacionadas | |
| Unidades Imediatamente Superiores | 8JMKD3MGPCW/3ESR3H2 |
| Divulgação | WEBSCI; PORTALCAPES; COMPENDEX. |
| Acervo Hospedeiro | sid.inpe.br/banon/2003/08.15.17.40 |
| 6. Notas | |
| Campos Vazios | affiliation alternatejournal archivist callnumber copyright creatorhistory descriptionlevel doi electronicmailaddress format isbn label lineage mark mirrorrepository nextedition notes orcid parameterlist parentrepositories previousedition previouslowerunit progress project readergroup resumeid rightsholder schedulinginformation secondarydate secondarymark session shorttitle sponsor subject tertiarymark tertiarytype typeofwork url versiontype |
| 7. Controle da descrição | |
| e-Mail (login) | marciana |
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